超精密加工中的微位移技术

微位移技术是实现超精密加工的重要途径 ,据此介绍了微位移的实现方法 ,并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍 ,阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点 .最后进行了采用MCS - 5 1系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验 .结果表明 ,工件的面形精度提高了 5 0

基于柔性板机构的光纤微位移技术研究

对变截面柔性板机构的输入输出关系进行了理论分析,得出了一定受力条件下柔性板机构的输出位移。通过有限元仿真分析得出了输出位移,并进行了相应的实验验证,结果表明理论计算结果与仿真结果误差为1.4%,与实验结果的误差为7.5%,证明理论计算方法是有效的。运用理论计算方法分析了柔性板机构的切割半径、最小厚度、曲柄长度、宽度等关键参数对其输出位移的影响,为后续柔性板机构关键参数的优化设计提供了指导,为研究运动范围更大的柔性板机构提供了技术支撑。

一种5－D压电驱动微位移工作台的设计

微位移技术是扫描探针显微镜的核心技术之一，直接影响着ＳＰＭ的测量精度，因此设计出高精度的多自由度微位移机构具有重大的意义。本文设计了一种适用于ＳＰＭ的五自由度的微位移工作台，它从结构上解决了交叉误差，同时又兼顾低速和高速扫描的需要。此定位系统在１０μｍ运动范围内定位精度为１０ｕｍ，定位分辨力高于１ｎｍ。在１μｍ运动范围内定位系统最小位移分辨力高达０．５ｎｍ。

采用柔性铰链实现微位移的方法研究

在微位移技术中，柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。本文介绍了柔性铰链的简化设计方法，并利用柔性铰链工作原理设计了柔性框架式爬行驱动器作为微动工作台的驱动装置，使微动工作台获得了稳定的工作精度和高分辨率。

微纳米检测技术的研究进展

纳米检测是纳米技术的重要方面之一。本文介绍了近年来研究人员为获得几何量纳米测量精度所作的努力和取得的进展 ,主要包括实物基准测量系统的标准溯源、扫描隧道显微技术的新应用、微纳米驱动定位技术的应用、三坐标测量机不确定度的正确评价和纳米三坐标测量机的研制等 ,阐述了误差分离技术和自校正技术的原理及其在提高测量和加工精度方面的有效性。

图像处理技术在地质灾害监测中的应用

三维激光微位移监测技术是一种对地质灾害进行长期监测的新方法。该技术用激光作为光源,用CCD摄像器作为镜头,通过图象采集卡把视频信号采入计算机中,用与该仪器配套的专门软件对采集到的光斑图像进行处理,计算出光斑的三维中心坐标值,把该值和原点坐标值进行比较,就可以算出灾害体滑动的距离。该系统可以对灾害体进行长期、非接触监测,监测时间、监测频率可以任意设定。文章概括介绍该监测的原理,各个组成部分,重点介绍软件部分,即采集的视频信号进入计算机后的图像处理过程和数据库结构。该监测系统已在三峡地区试运行了3个月,效果较好。

《精密加工技术实用手册》王先逵 主编／2001

精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。

超精瞄准定位系统的研究

本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。

一等环规测量仪的研制

一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术 作为主体测量技术,以上三项技术的有机结合使该仪器的测量不确定度达到了国际法制计量组织 (OIML)规定的一等环规的测量要求。

形位误差智能检测仪

一、简介: 形位误差智能检测仪是机电一体化产品,是多学科先进技术综合应用的结晶。它包括检测技术、计算机技术、微位移技术。

一种适合于Hopkinson杆的实验测试方法探索

低阻抗脆性材料的动力学性能日益受到人们的关注,但是由于其破坏应变小,透射信号弱,传统的Hopkinson杆测试技术往往难以获得准确的测量结果。为此,提出了一种适用于Hopkinson杆动态力学性能测试的新实验方法,即将激光微位移测量技术应用到入射杆和透射杆的端面速度测量中,实现了Hopkinson杆中试样应力-应变关系的直接测量。通过实验和数值模拟,验证了该方法的有效性。