电致伸缩微位移装置的高精度控制方法研究

针对电致伸缩微位移装置高精度控制的需求 ,研究了基于非线性迟滞模型的前馈补偿与反馈技术相结合的控制方法 ,对电致伸缩微位移装置进行控制 ,取得良好的控制效果。将其应用于柔性工作台控制系统中 ,系统在跟踪正弦曲线时 ,跟踪误差小于 5 nm。

压电作动器在微力微位移装置中的应用

在微力微位移装置中采用闭环控制压电作动器实现微位移进给和微力加载 ,设计了加载机构 ,建立加载机构的压电作动器输入电压、加载装置输出位移和输出力之间的关系。通过电容测位移仪检测输出位移 ,实验得到加载系统刚度 ,根据压电作动器输入电压、加载装置刚度 ,计算出加载力大小。

PZT微位移装置控制系统的设计

本文提出了以PC机作为锆钛酸铅压电陶瓷堆(PZT)微位移装置控制系统主机的方案,从而高效、高速地控制PZT微位移装置,使其能实现变速、线性微位移的功能。

液压微位移装置的性能分析

介绍了液压式微量位移驱动器的研究现状,介绍了该位移驱动器相关的特性及获得位移的几种形式,最后展示其在实际中的应用。

压电陶瓷微位移机械装置的研究

参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为1.73%。

产生任意波形信号的系统及其在标准微位移发生装置中的应用研究

描述了能够产生任意波形信号的信号发生系统的构成、工作原理和关键技术，并将能产生任意波形信号的标准信号发生系统应用于标准微位移发生装置中，控制标准微位移发生装置产生任意形状的标准微位移运动轨迹及模拟标准器形状轮廓轨迹，以实现对微米测量范围的位移传感器的动态校准。通过实验验证了该系统及标准微位移发生装置的准确性及实用性。

物体微小形变教学方法的改进——凹面反射式光杠杆微位移测量装置的设计及应用

文章对中学物理教学中物体微小形变的教学方法加以改进。设计和制作了凹面反射式光杠杆微位移测量装置,以金属棒的热胀冷缩实验为例,精确地测量了金属棒的线膨胀系数。实验现象清晰、直观,实验操作简单,测量精度高。有效解决了中学物理教学中微小形变的精确测量的教学难题。

微装配的若干关键技术

随着微机电系统的快速发展 ,对微装配技术的需求日益迫切。详细地综述了近年来微装配技术发展的几个主要方面 ,包括微装配机理、视觉伺服微装配的结构、微夹持器等等。

大行程纳米分辨率加载机构的研制

对微构件力学性能测试的微力微位移装置的重要组成部分———大位移高分辨率加载机构进行了研究。根据微力微位移装置的要求 ,提出了一种通过结构变形进行加载的整体式两级加载机构 ,该机构的第一和第二级分别通过压电陶瓷驱动器和直线电机进行加载 ,输出位移通过电容测微仪检测。加载机构的第一级是一个位移放大机构 ,采用柔性铰链连接的杠杆放大 ,第二级通过柔性杆进行输出位移的缩小。采用遗传算法优化设计了两级整体式结构 ,用有限元进行分析 ,并对加载机构的第一级进行了实验。有限元分析和实验结果表明 ,所设计的结构能够实现最大 1mm的输出位移 ,并在压电驱动器和直线电机的驱动下 ,获得小于 10nm的理论位移增量和纳米级位移分辨率。该机构还满足了最大加载力 2 0N的要求。

恒星光干涉仪中倾斜镜系统的研制

本文介绍了倾斜镜在恒星光干涉仪中的作用及倾斜镜系统的组成和工作原理，对倾斜镜系统中的ＡＴ８９Ｃ５１控制单元、高压驱动电源、压电陶瓷微位移装置ＰＺＴ以及倾斜镜的机械结构设计进行了详细的讨论，并给出了倾斜镜闭环实验调试平台。

智能材料驱动的高速开关阀

高速开关阀作为未来液压控制阀发展的一个方向和研究热点,越来越受到研究者的重视。该文介绍了国内、外智能材料驱动的高速开关阀的研究现状,包括智能材料电-机转换器的类型及其微位移放大装置,以及磁致伸缩、压电叠堆、形状记忆合金与磁流体等智能材料驱动的高速开关阀,分析了各类智能材料驱动的高速开关阀的优缺点,得到了各类智能材料在高速开关阀上的应用特性。

生物力学等效软质材料弹性模量静态测试方法的分析与探讨

针对生物力学等效软质材料的特点,在对现有测试方法研究分析的基础上,提出一种适于软质材料的基于光栅尺和千分表的弹性模量测试方法,实现了软质材料等应变下的压缩测试,并设计了测量所需的微位移系统。通过对测试结果的分析,验证了上述方法的可行性。

其它非电量测量与仪器

9905030压电陶瓷微位移特性的电脑接触式干涉测量法[刊]/朱煜//压电与声光.—1998,20(4).—283～286(LC)介绍了压电陶瓷微位移器的工作原理,在此基础上提出了一种由立式接触式干涉仪改造的电脑接触式干涉仪测量微位移特性的方法。