具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器的研究

采用新型的功能材料——超磁致伸缩材料作为微位移器件 ,研制了一种具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器 ,并建立了其微位移闭环控制系统 .提出了一种高分辨率、无摩擦、传感 /位移传递一体化的圆形膜片式柔性结构 ,作为超磁致伸缩微位移执行器的微位移传递和感知机构 .应用薄板弯曲理论得出了相应的挠度、应变变化率的解析表达式及分布曲线 ,确定了微位移感知传感器的分布形式 ,实现了执行器的微位移感知功能 .同时 ,对研制的具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器及其微位移闭环控制系统进行实验研究 ,结果表明 :执行器的微位移感知灵敏度和系统的微位移闭环控制精度较高 .