微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用

本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。

微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 。

光学镜头、光学零部件

TH703 2001063768微镜单元的设计与加工工艺研究=Research on design and fabrication process of micromirror cell[刊,中]/蒋军彪,冯培德,魏芳琳,徐建东(飞行自动控制所.陕西,西安(710065))//航空精密制造技术.—2001,37(1).