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加速度地震检波器简谐振子有限元分析
被引量:
1
1
作者
恩德
邓三星
+2 位作者
孙攀
陈亚柯
张宁波
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2015年第1期176-178,共3页
介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件,采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型,选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料;设置了模型的材料属性,采用智能分网的方式对模型划分网格,并对质量块模型施加沿x轴水平方向载荷,进行三维...
介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件,采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型,选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料;设置了模型的材料属性,采用智能分网的方式对模型划分网格,并对质量块模型施加沿x轴水平方向载荷,进行三维的静力分析和模态分析。静力分析得到实体模型的总位移是0.236×10-19μm;模态分析时只对前四阶模型进行了分析,根据其振型图及其总位移的应力云图,得到实体模型的二十阶振动模态的频率是78 001Hz,二十阶的总位移是0.122×10-6μm。
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关键词
微光
机电
系统
(
moems
)
三
分量
加速度
地震
检波
装置
简谐振子
质量块
有限元
位移
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职称材料
题名
加速度地震检波器简谐振子有限元分析
被引量:
1
1
作者
恩德
邓三星
孙攀
陈亚柯
张宁波
机构
河南理工大学电气工程与自动化学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2015年第1期176-178,共3页
基金
国家自然基金资助项目(41074090)
河南省科技计划重点攻关项目资助(022102210360)
文摘
介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件,采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型,选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料;设置了模型的材料属性,采用智能分网的方式对模型划分网格,并对质量块模型施加沿x轴水平方向载荷,进行三维的静力分析和模态分析。静力分析得到实体模型的总位移是0.236×10-19μm;模态分析时只对前四阶模型进行了分析,根据其振型图及其总位移的应力云图,得到实体模型的二十阶振动模态的频率是78 001Hz,二十阶的总位移是0.122×10-6μm。
关键词
微光
机电
系统
(
moems
)
三
分量
加速度
地震
检波
装置
简谐振子
质量块
有限元
位移
Keywords
moems
three-component acceleration seismic geophone
harmonic oscillator
mass
finite element
displacement
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
加速度地震检波器简谐振子有限元分析
恩德
邓三星
孙攀
陈亚柯
张宁波
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2015
1
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