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题名飞秒激光在光敏玻璃上制作微凹面
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作者
巫殷忠
王清月
贾威
胡明列
柴路
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光实验室光电信息技术科学教育部重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期1597-1601,共5页
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基金
教育部科学技术研究重大项目(10410)
天津市科技发展计划科技攻关培育项目(G043103911)资助
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文摘
利用聚焦的飞秒激光(中心波长775nm、脉宽150fs)照射FOTURAN光敏玻璃,经热处理及浓度为8%的氢氟酸溶液室温腐蚀50min后,在FOTURAN玻璃表面制作了微凹面.利用原子力显微镜和扫描电子显微镜分析了微凹面的形貌,发现它具有光滑璧面和清晰边缘,直径约为几十微米.通过分别改变入射激光的单脉冲能量(970~3250nJ)和脉冲数目(10~3000个),研究了它们对微凹面制作结果的影响,发现了微凹面的直径随激光入射参量的饱和效应,并解释了其原因;指出了飞秒激光在FOTURAN上制作微结构的应用.
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关键词
飞秒激光
微凹面
微细加工
FOTURAN玻璃
光敏玻璃
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Keywords
Femtosecond laser
Micro-concave-surface
Micromachining
FOTURAN glass
Photosensitiveglass
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列
被引量:9
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作者
李明
程光华
赵卫
王屹山
贺俊芳
陈国夫
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究机所瞬态光学与光子技术国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期547-550,共4页
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基金
国家自然科学基金(60678013)资助
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文摘
基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀,在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列,并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓,测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控,制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.
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关键词
飞秒激光
酸刻蚀
凹面微透镜阵列
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Keywords
Femtosecond laser
Hydrofluoric acid etching
Concave microlens array
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分类号
O437
[机械工程—光学工程]
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