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Nomarski棱镜的优化设计
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作者 张思团 叶虎年 许忠宝 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期79-83,共5页
Nomarski棱镜广泛应用于微计量检测系统,其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的偏振光,从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中,系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的结构参数来决定。本文根据相干... Nomarski棱镜广泛应用于微计量检测系统,其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的偏振光,从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中,系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的结构参数来决定。本文根据相干平面与系统物镜焦面重合的准则,建立了棱镜各参数间的关系模型。在分析Nomarski棱镜各参数关系基础上,利用计算机模拟了棱镜各参数的优化设计,绘制了相应参数间的关系曲线,为棱镜的设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 Nomarski棱镜 微分相干 偏振光 相干平面
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