微制造系统中的微细电火花加工技术

文章系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势 。

突发公共卫生事件下中小微制造业企业数字化转型研究

数字化转型是中小微企业发展的不竭动力。当前,随着时代的发展,越来越多的中小微企业开始意识到数字化转型的重要性和迫切性,但由于其发展的局限性,数字化转型能力仍然较弱。重大突发公共卫生事件是考察企业行为的一个窗口,近20年以来,突发公共卫生事件的暴发,都给中小微企业带来了沉重的打击,使得他们无法得到有效的数字化转型。因此,文章主要从挑战和机遇两方面来讨论突发公共卫生事件对中小微制造业企业数字化转型的影响,并为其总结出未来转型发展的方向和路径。

微制造光刻工艺中光刻胶性能的比较

在MEMS微加工和实验过程过程中,出于制造成本、光刻胶性能的考虑,需要选用合适的光刻胶。本文介绍了常用的正性胶和负性胶以及其曝光、显影的过程,正性胶和负性胶曝光过程漫射的图形缺陷。比较了正性胶和负性胶的各种性能以及各种光刻方式下选用的正负性胶及它们的光刻灵敏度,为微加工过程和实验操作提供指导。

微制造数控系统的实时有限状态机建模研究

为提高传统有限状态机(FSM)分析微制造数控系统(NCS)实时性特征的能力,提出了一种实时有限状态机(RTFSM)模型.该模型对传统FSM概念进行扩展,通过增加时间属性来描述状态行为的执行时间以及状态间切换所需的时间耗费.考虑到对复杂NCS控制流程进行设计、分析计算量较大,引入图论中的时间约束网络理论,采用经过修正的Floyd算法对模型中各个状态行为开始和结束时间的取值范围进行分析计算,从而实现控制流程的可调度性判定.实例研究表明,实时有限状态机可有效地建立微制造NCS控制流程模型,并降低对控制流程进行可调度性分析的复杂度,适用于NCS实时性研究.

微制造隔振平台振动的模糊广义预测控制

采用主动隔振与被动隔振相结合的技术,建立以空气弹簧为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器为主动隔振元件的微制造平台6自由度隔振系统及其结构模型。提出一种改进的自适应广义预测控制算法,并与模糊控制结合起来,应用于微制造平台的振动控制中,实现广义预测控制与模糊控制的优势互补。计算机仿真与试验结果表明,所设计的微制造平台模糊广义预测控制系统具有良好的鲁棒稳定性、抗干扰能力和时域性能,可在非常宽的频率范围内将由干扰所引起的微制造平台的振动在被动隔振的基础上减少80%左右,效果显著。

微制造平台的精密隔振系统研究

提出了微制造平台的精密隔振系统的设计思路和系统结构 ,通过对具有良好隔振性能的啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的研究 ,利用仿生学原理建立了微制造平台的精密隔振系统的整体结构模型 ,采用主动隔振和被动隔振相结合技术。为了消除线圈发热引起的热变形因素的影响 ,专门设计了超磁致伸缩致动器的恒温冷却系统。针对微制造平台所处激励环境的复杂性和系统内部存在的非线性 ,采用了带有两个修正因子二维模糊振动主动控制系统。最终 ,建立一套可实现微制造的精密隔振系统。

激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。

高频群脉冲电化学加工在微制造中的应用

阐述了高频群脉冲电化学加工在微制造中的应用,介绍了群脉冲的产生、高频群脉冲电源从反向电流和压力波等方面对加工质量的影响以及微制造中阴极设计的原理并举例说明阴极设计过程,最后根据设计的小平面和某超薄结构件模具,进行高频群脉冲电化学加工的验证。试验表明:高频群脉冲电化学加工所带来的良好加工质量可以应用在微制造领域。

基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链

将宏机械柔性铰链设计思想应用到硅微机械机构设计中,采用表面硅牺牲层工艺制作了结构层厚度为2 μm 的多晶硅薄膜型微机械柔性铰链及在线测试机构,对微米尺度柔性铰链的微机械性能进行了理论和试验研究。以直圆型多晶硅薄膜柔性铰链为例,对其转动刚度采用现有宏机械柔性铰链理论的计算值为8 N·μm／rad,试验测试结果为120N·μm／rad。宏理论计算和微机械测试结果之间的偏差较大,这表明在微尺度效应的影响下,宏机械柔性铰链理论模型不能直接用于薄膜型硅微机械柔性铰链的计算。根据试验数据对宏机械柔性铰链计算公式进行了修正,得到了描述薄膜型硅微机械柔性铰链静态特性的近似经验公式,可满足薄膜型硅微机械柔性铰链的设计与计算。

微制造平台隔振系统仿生设计

在分析啄木鸟头部独特生物构造及其隔振机理的基础上,运用仿生学原理,采用主动隔振与被动隔振相结合的技术,建立了以空气弹簧为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器为主动隔振元件的微制造平台六自由度仿生隔振系统及其结构模型。实验结果表明,该隔振系统具有很好的隔振效果。

微制造与数字制造——21世纪制造技术的重要发展方向

研究探讨了21世纪制造技术的两个重要发展方向——微制造技术和数字制造技术的基本概念、特征、研究内容和发展过程,提出了我们今后在微制造和数字制造技术方面重点研究内容。

微制造的生物途径

介绍与论述了微制造工艺的发展方向和微制造的一种新途径——根据分子生物学原则 ,设计和合成或通过分子克隆制备生物聚合物 。

基于快速成形的MEMS微制造技术

评述了当前主要的 MEMS微制造技术方法及特点 ,综述了基于快速成形的 MEMS微制造系统的基本原理和基本结构 ,目前所能达到的精度与应用典型实例 ,微制造技术的优越性与局限性。对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形

立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用

综述了近年来与微型机电系统（MEMS）相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景.

微制造信息系统综述

信息技术在微制造业的应用给传统的微制造业带来了新的气象,该文详细阐述了微制造业信息系统的概念,功能和重要性,随后介绍了国内外微制造信息系统的发展状况及存在的一些问题,最后针对微制造信息系统的发展前景进行了展望。

基于神经网络与PID控制的微制造试验平台隔振系统的混合控制

利用神经网络与PID控制算法,提出了一种针对微制造平台振动的混合控制方法。该方法较好地实现了神经网络与PID算法的结合,弥补了微制造系统动态性能差的缺陷。仿真结果表明,该方法具有良好的减振效果。

软刻蚀——图形转移和微制造新工艺

:“软刻蚀”是相对于微制造领域中占据主导地位的刻蚀而言的微图形转移和微制造的新方法 ,总的思路就是把用昂贵设备生成的微图形通过中间介质进行简便而又精确的复制 ,提高微制作的效率 ,包括微接触印刷 ,毛细微模塑 ,溶剂辅助的微模塑 ,转移微模塑 ,微模塑 ,近场光刻蚀等。这些方法工艺简单 ,对实验室条件要求不高 ,又能在曲面上进行操作 。

微制造技术与自主创新

中国的制造业得到广泛的关注,但是对中国微制造业进行系统研究和论述的成果并不多见,而微系统与微制造产品正越来越影响着我们的生活。它的迅猛发展将在21世纪促使几乎所有工业领域产生一场革命性的变化。文章在提出微制造概念的基础上,就微制造的发展历程、国内外微制造业的发展现状、我国微制造业的战略思路做些探讨。总结传统制造的经验教训,阐述了在借鉴发达国家的经验、进行技术引进、加强国际合作的同时,自主创新仍是发展中国微制造的关键。

微小型卫星中的微制造技术研究

从功能器件微型化、系统集成化、结构多功能化、生产规模扩大化等四个方面论述了微小型卫星的发展对微制造技术提出的要求。最后,探讨了微纳卫星开发过程中的微制造基础技术,需求牵引和技术推动。

飞秒激光在微制造中的应用

本文介绍飞秒激光微加工的特点，并着重指出了与长脉冲激光的区别。飞秒激光可产生超高光强、热影响区小且阈值较小，可精密加工所有材料，并且，加工精度极高，可进行亚微米尺寸的精密加工。通过分析飞秒激光微加工的特性，综述飞秒激光微制造的研究现状。