微波电路的MEMS开关进展

开关是微波信号变换的关键元件。和传统的半导体开关相比 ,射频微机电系统 (RFMEMS)开关具有优良的高频特性和固有的重量轻、尺寸小、低功耗等优点 ,而且其制作工艺和传统的 CMOS工艺相兼容。本文较为详细地论述了串联悬臂梁开关、并联悬臂梁开关和膜开关的工作原理及典型的性能参数。由于其优越的微波特性 ,MEMS开关已在许多电路和系统中 ,包括微波前端电路。