基于STM32W108的无线程控微加热平台设计

设计了基于STM32W108的无线程控微加热平台,平台采用PWM驱动薄片陶瓷加热器,采用PT100检测和反馈温度,采用满足IEEE 802.15.4 MAC协议的RF模块进行数据和指令传输,并编程实现了对该微加热平台的远程温度控制。测试表明,微平台程控距离可达30米,温控精度可达到±3℃。

基于微加热器平台的高性能甲烷传感器

设计制造了基于微型加热器平台(MHP)的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡(SnO_2)有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m^3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m^3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.