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微加热板气体传感器的仿真及结构优化 被引量:3
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作者 张子立 殷晨波 +1 位作者 陶春 朱斌 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第8期1-3,43,共4页
针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析,得出了最佳的硅岛尺寸,并提出了一... 针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点,在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析,得出了最佳的硅岛尺寸,并提出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计,该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简化制作工艺。 展开更多
关键词 微加热板气体传感器 结构优化 硅岛 温度分布 ANSYS
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微加热板式半导体微气压传感器的测试
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作者 郭文泰 金仁成 +5 位作者 王海霞 高仁璟 张凤田 余俊 于耀东 张天超 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第8期55-57,共3页
组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。
关键词 微加热板式半导体传感器 气压 测试
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基于微加热板的三维SnO2薄膜乙醇传感器 被引量:1
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作者 鲍钰胜 熊大元 +1 位作者 徐少辉 王连卫 《微纳电子技术》 北大核心 2019年第7期564-569,共6页
为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传感器,研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性... 为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传感器,研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对多孔表面形貌进行观察和表征。通过测试不同条件制备的传感器对于乙醇气体的气敏性能,得到使用直径1μm微球作为掩模制备的传感器性能更好,在约220℃的工作温度下,对体积分数为10-4的乙醇气体有3.5的灵敏度,并对传感器的重复性和线性度进行了测试。 展开更多
关键词 气敏传感器 二氧化锡(SnO2) 聚苯乙烯 微加热板 乙醇气体
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低功耗微热板ZnO甲烷传感器仿真及性能研究 被引量:4
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作者 李加明 焦明之 钱晨 《工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第6期987-994,共8页
随着微机电系统(MEMS)的发展,运用该技术的半导体传感器也跟着迅速发展,逐渐走向微型化、集成化和智能化.基于MEMS的微加热板(MHP)的金属氧化物甲烷传感器具有功耗小、响应快等优点,广泛应用于甲烷检测.其中,氧化锌(ZnO)甲烷敏感材料因... 随着微机电系统(MEMS)的发展,运用该技术的半导体传感器也跟着迅速发展,逐渐走向微型化、集成化和智能化.基于MEMS的微加热板(MHP)的金属氧化物甲烷传感器具有功耗小、响应快等优点,广泛应用于甲烷检测.其中,氧化锌(ZnO)甲烷敏感材料因其灵敏度高、中毒效应小、工作温度低等优点,广受关注.但是,该敏感材料制备的传感器响应性能依然受加热温度及热量分布的强烈影响.使用有限元分析(FEA)软件COMSOL中的Multiphysics模块对物理场中的温度进行仿真分析与比较,揭示了在相同工作条件下加热电极结构对温度分布的影响,优选的微加热板达到300℃时需要75 mW左右的功率.在商用微加热板的叉指电极上采用无遮挡全表面溅射氧化锌敏感材料构建ZnO薄膜甲烷传感器,并使用合肥微纳公司HIS9010测试了气体传感器的响应.采用静态测量的方法向1 L的气体腔内注射甲烷气体,经过测试,与现在不同形貌的ZnO相比,本课题组使用的磁控溅射制备的氧化锌薄膜气体传感器,在(1000~10000)×10^(-6)甲烷浓度区间内响应线性度比较好,对浓度为10000×10^(-6)的甲烷响应值达到了30.与国内外商用甲烷传感器的甲烷响应性能进行了对比,结果表明本课题组制作传感器响应更高,更具有应用优势. 展开更多
关键词 甲烷 微加热板 有限元分析 磁控溅射 氧化锌
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Acid-pickling plates and strips speed control system by microwave heating based on self-adaptive fuzzy PID algorithm 被引量:7
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作者 杨彪 彭金辉 +3 位作者 郭胜惠 张世敏 李玮 何涛 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第8期2179-2186,共8页
Double self-adaptive fuzzy PID algorithm-based control strategy was proposed to construct quasi-cascade control system to control the speed of the acid-pickling process of titanium plates and strips. It is very useful... Double self-adaptive fuzzy PID algorithm-based control strategy was proposed to construct quasi-cascade control system to control the speed of the acid-pickling process of titanium plates and strips. It is very useful in overcoming non-linear dynamic behavior, uncertain and time-varying parameters, un-modeled dynamics, and couples between the automatic turbulence control (ATC) and the automatic acid temperature control (AATC) with varying parameters during the operation process. The quasi-cascade control system of inner and outer loop self-adaptive fuzzy PID controller was built, which could effectively control the pickling speed of plates and strips. The simulated results and real application indicate that the plates and strips acid pickling speed control system has good performances of adaptively tracking the parameter variations and anti-disturbances, which ensures the match of acid pickling temperature and turbulence of flowing with acid pickling speed, improving the surface quality of plates and strips acid pickling, and energy efficiency. 展开更多
关键词 self-adaptive fuzzy PID algorithm microwave heating acid pickling plates and strips mixed-acid media
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Effect of laser heating on the microstructure and hardness of TRIP590advanced high strength steel used for roll forming 被引量:1
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作者 王海波 Jin Pengcheng +1 位作者 Yan Yu Li Qiang 《High Technology Letters》 EI CAS 2015年第4期429-432,共4页
TRIP590 advanced high strength steel sheets were heated by laser with different powers.Changes of the microstructure and the hardness of TRIP590 steel under laser heating with different powers were investigated by met... TRIP590 advanced high strength steel sheets were heated by laser with different powers.Changes of the microstructure and the hardness of TRIP590 steel under laser heating with different powers were investigated by metallographic microscope,scanning electron microscope,and hardness tester.The purpose was to study the effect of laser power on microstructure and hardness of TRIP590 steel.It is shown that the power of laser plays an important role on the microstructure and hardness of heated steel sheets.The results are helpful to determine suitable power for the laser auxiliary forming of Trip590 steel in order to obtain uniform microstructure and high hardness. 展开更多
关键词 TRIP590 advanced high strength steel laser heating MICROSTRUCTURE HARDNESS
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