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薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究
被引量:
1
1
作者
魏成
李喜德
+2 位作者
黄静波
施惠基
张泰华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期737-741,共5页
本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测 检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量 研究了微标记点的信...
本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测 检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量 研究了微标记点的信息提取与表征方法,讨论了微标记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能。
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关键词
薄膜
微区域变形
微
压痕
标记法
微
缺陷
下载PDF
职称材料
题名
薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究
被引量:
1
1
作者
魏成
李喜德
黄静波
施惠基
张泰华
机构
清华大学工程力学系
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期737-741,共5页
基金
国家自然科学基金(10372049
10072031
+2 种基金
10232030 )
国家重点基础研究(G1999065002)
清华大学开放基金
文摘
本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测 检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量 研究了微标记点的信息提取与表征方法,讨论了微标记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能。
关键词
薄膜
微区域变形
微
压痕
标记法
微
缺陷
Keywords
Thin films
Microregion deformation
Microindentation mark method
Micro defects
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究
魏成
李喜德
黄静波
施惠基
张泰华
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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