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一种基于MEMS技术的微变电容
被引量:
2
1
作者
卞剑涛
程未
+1 位作者
冯勇建
颜黄苹
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期453-455,共3页
通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型。为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性。
关键词
MEMS
微变电容
电容
压力传感器
有限元分析
工艺流程
工作原理
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职称材料
微变电容式传感器的设计与应用
2
作者
郭银景
康景利
+1 位作者
杨阳
唐富华
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期419-422,共4页
微变电容式传感器是为边境线、狱墙等场合的需要而设计的.该设计以传输线理论为基础,采用FFT算法和相位微分法检测与处理信号,利用同轴电缆的低频特性高灵敏地探测被测量,利用其高频特性测量被测量产生的位置.该传感器在狱墙报警系统中...
微变电容式传感器是为边境线、狱墙等场合的需要而设计的.该设计以传输线理论为基础,采用FFT算法和相位微分法检测与处理信号,利用同轴电缆的低频特性高灵敏地探测被测量,利用其高频特性测量被测量产生的位置.该传感器在狱墙报警系统中的应用结果表明,微变电容式传感器最大定位相对误差小于6.0%,误警率小于0.3%,漏警率小于0.2%.
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关键词
同轴电缆
报警系统
微变电容
式传感器
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职称材料
基于f/V转换的瞬变微小电容测量电路的研究与应用
被引量:
1
3
作者
刘芮君
李新娥
+1 位作者
冯小琴
赵鼎
《伺服控制》
2012年第6期63-65,共3页
针对目前微小电容测量电路脉动噪声大,需要使用滤波器及考虑相位补偿。研究设计了一种基于电容充放电特性的瞬变微小电容测量电路,对待测电容两端的电压进行实时测量;并将该电路用于电容式压力测试仪中,对火炮膛压进行试验测试,通过对...
针对目前微小电容测量电路脉动噪声大,需要使用滤波器及考虑相位补偿。研究设计了一种基于电容充放电特性的瞬变微小电容测量电路,对待测电容两端的电压进行实时测量;并将该电路用于电容式压力测试仪中,对火炮膛压进行试验测试,通过对数据的分析与处理可知,该电路的设计是合理可行的。与目前使用的微小电容测量电路相比,该电路具有结构简单易于集成,稳定性好,数据采集速度高等特点。
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关键词
电容
传感器
瞬
变
微
电容
测量电路
F/V转换
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职称材料
基于充放电原理的小电容测量电路
被引量:
14
4
作者
李新娥
马铁华
+1 位作者
祖静
徐鹏
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2012年第2期42-48,共7页
针对目前的小电容测量电路采样频率低,不能满足瞬态变化的膛压信号测量要求,提出一种基于充放电原理的小电容检测电路。该电路以基于恒流源充放电原理的信号调理电路取代了以小电容检测芯片PS021为主的信号调理电路。测试表明:该小电容...
针对目前的小电容测量电路采样频率低,不能满足瞬态变化的膛压信号测量要求,提出一种基于充放电原理的小电容检测电路。该电路以基于恒流源充放电原理的信号调理电路取代了以小电容检测芯片PS021为主的信号调理电路。测试表明:该小电容检测电路的采样频率达到100kHz,优于国内外现有水平,是一种高采样频率、高精度、低功耗、传感器壳体电容接公共地的小电容测量电路。
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关键词
瞬
变
微变电容
误差
电容
检测电路
恒流源
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职称材料
一种新的不受寄生电容影响的电容式传感器接口电路
被引量:
8
5
作者
曹新平
张大成
+2 位作者
黄如
张兴
王阳元
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期762-765,共4页
给出了一种新的用于微小电容检测的接口电路 .在电荷传送电路的基础上 ,引入了一个用于参考微变电容读出的电荷传送电路部分 ,将检测电路与参考电路的输出进行差分放大 ,从而大大提高了电路的稳定性和检测灵敏度 ,同时此电路也保持了电...
给出了一种新的用于微小电容检测的接口电路 .在电荷传送电路的基础上 ,引入了一个用于参考微变电容读出的电荷传送电路部分 ,将检测电路与参考电路的输出进行差分放大 ,从而大大提高了电路的稳定性和检测灵敏度 ,同时此电路也保持了电荷传送电路检测微小电容变化不受寄生电容影响的特性 .
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关键词
电容
式传感器
微变电容
电荷传送电路
接口电路
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职称材料
道口车流量监测系统设计
被引量:
5
6
作者
郭银景
康景利
+3 位作者
吕文红
王燕
唐富华
杨阳
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第11期66-68,共3页
一种基于同轴线的分布参数,以同轴线为敏感器件的微变电容式传感器研制成功并被应用到道口车流量监测系统中。该传感器由同轴电缆、单片机系统、高频检测电路和低频检测电路等几部分组成。根据同轴线的高频特性产生的脉冲信号的信息来...
一种基于同轴线的分布参数,以同轴线为敏感器件的微变电容式传感器研制成功并被应用到道口车流量监测系统中。该传感器由同轴电缆、单片机系统、高频检测电路和低频检测电路等几部分组成。根据同轴线的高频特性产生的脉冲信号的信息来判断车型;依据同轴线的低频特性产生的脉冲信号的信息,比较准确地判断出车速和车流量等信息。论述了道口车流量监测系统的原理与应用,实验结果表明利用微变电容式传感器设计的道口车流量监测系统具有较好的应用效果。
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关键词
微变电容
式传感器
车流量监测
脉冲信号
车速监测
工作原理
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职称材料
题名
一种基于MEMS技术的微变电容
被引量:
2
1
作者
卞剑涛
程未
冯勇建
颜黄苹
机构
厦门大学机电工程系
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期453-455,共3页
文摘
通过对接触式电容压力传感器的改进,提出了一种基于MEMS技术的微变电容模型。为确定外加驱动电压与由此所引起的电容变化之间的非线性关系,提出了一种有效的基于有限元的方法,并设计了相应的加工工艺流程,说明了其工艺的可实现性。
关键词
MEMS
微变电容
电容
压力传感器
有限元分析
工艺流程
工作原理
Keywords
MEMS
Micro-variable capacitor
Capacitive pressure sensor
Finite element analysis
分类号
TM53 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
微变电容式传感器的设计与应用
2
作者
郭银景
康景利
杨阳
唐富华
机构
北京理工大学机电工程学院
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期419-422,共4页
文摘
微变电容式传感器是为边境线、狱墙等场合的需要而设计的.该设计以传输线理论为基础,采用FFT算法和相位微分法检测与处理信号,利用同轴电缆的低频特性高灵敏地探测被测量,利用其高频特性测量被测量产生的位置.该传感器在狱墙报警系统中的应用结果表明,微变电容式传感器最大定位相对误差小于6.0%,误警率小于0.3%,漏警率小于0.2%.
关键词
同轴电缆
报警系统
微变电容
式传感器
Keywords
coaxial-cable
alarm system
micro-variation capacitance sensor
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于f/V转换的瞬变微小电容测量电路的研究与应用
被引量:
1
3
作者
刘芮君
李新娥
冯小琴
赵鼎
机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室/中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《伺服控制》
2012年第6期63-65,共3页
文摘
针对目前微小电容测量电路脉动噪声大,需要使用滤波器及考虑相位补偿。研究设计了一种基于电容充放电特性的瞬变微小电容测量电路,对待测电容两端的电压进行实时测量;并将该电路用于电容式压力测试仪中,对火炮膛压进行试验测试,通过对数据的分析与处理可知,该电路的设计是合理可行的。与目前使用的微小电容测量电路相比,该电路具有结构简单易于集成,稳定性好,数据采集速度高等特点。
关键词
电容
传感器
瞬
变
微
电容
测量电路
F/V转换
分类号
TM934.23 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
基于充放电原理的小电容测量电路
被引量:
14
4
作者
李新娥
马铁华
祖静
徐鹏
机构
电子测试技术重点实验室
中北大学
出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2012年第2期42-48,共7页
基金
国防基金项目资助(9140C1204011007)
文摘
针对目前的小电容测量电路采样频率低,不能满足瞬态变化的膛压信号测量要求,提出一种基于充放电原理的小电容检测电路。该电路以基于恒流源充放电原理的信号调理电路取代了以小电容检测芯片PS021为主的信号调理电路。测试表明:该小电容检测电路的采样频率达到100kHz,优于国内外现有水平,是一种高采样频率、高精度、低功耗、传感器壳体电容接公共地的小电容测量电路。
关键词
瞬
变
微变电容
误差
电容
检测电路
恒流源
Keywords
tiny capacitance
ERR
capacitance detection circuit
constant flow source
分类号
TB125 [理学—工程力学]
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职称材料
题名
一种新的不受寄生电容影响的电容式传感器接口电路
被引量:
8
5
作者
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
机构
北京大学微电子学研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期762-765,共4页
文摘
给出了一种新的用于微小电容检测的接口电路 .在电荷传送电路的基础上 ,引入了一个用于参考微变电容读出的电荷传送电路部分 ,将检测电路与参考电路的输出进行差分放大 ,从而大大提高了电路的稳定性和检测灵敏度 ,同时此电路也保持了电荷传送电路检测微小电容变化不受寄生电容影响的特性 .
关键词
电容
式传感器
微变电容
电荷传送电路
接口电路
Keywords
differential capacitance
charge transfer circuit
interface circuit
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
道口车流量监测系统设计
被引量:
5
6
作者
郭银景
康景利
吕文红
王燕
唐富华
杨阳
机构
北京理工大学机电工程学院
北京理工大学管理与经济学院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第11期66-68,共3页
文摘
一种基于同轴线的分布参数,以同轴线为敏感器件的微变电容式传感器研制成功并被应用到道口车流量监测系统中。该传感器由同轴电缆、单片机系统、高频检测电路和低频检测电路等几部分组成。根据同轴线的高频特性产生的脉冲信号的信息来判断车型;依据同轴线的低频特性产生的脉冲信号的信息,比较准确地判断出车速和车流量等信息。论述了道口车流量监测系统的原理与应用,实验结果表明利用微变电容式传感器设计的道口车流量监测系统具有较好的应用效果。
关键词
微变电容
式传感器
车流量监测
脉冲信号
车速监测
工作原理
Keywords
micro-change capacitive sensor
road monitoring
vehicle flux
分类号
U491.116 [交通运输工程—交通运输规划与管理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于MEMS技术的微变电容
卞剑涛
程未
冯勇建
颜黄苹
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2003
2
下载PDF
职称材料
2
微变电容式传感器的设计与应用
郭银景
康景利
杨阳
唐富华
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
下载PDF
职称材料
3
基于f/V转换的瞬变微小电容测量电路的研究与应用
刘芮君
李新娥
冯小琴
赵鼎
《伺服控制》
2012
1
下载PDF
职称材料
4
基于充放电原理的小电容测量电路
李新娥
马铁华
祖静
徐鹏
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2012
14
下载PDF
职称材料
5
一种新的不受寄生电容影响的电容式传感器接口电路
曹新平
张大成
黄如
张兴
王阳元
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
8
下载PDF
职称材料
6
道口车流量监测系统设计
郭银景
康景利
吕文红
王燕
唐富华
杨阳
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003
5
下载PDF
职称材料
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