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压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验
1
作者
路士州
周凤岐
+2 位作者
任晨亮
刘伟
黄博
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期926-932,共7页
为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实...
为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实验和仿真表明:撞针位移在0.3~0.5mm时为有利于喷射胶滴的范围内;针对3Pa·s黏度的胶体,当驱动气压在0.15~0.32MPa时,喷射体积与驱动气压成正相关趋势;随着黏度的增大,相同条件下可获取的胶滴体积不断减小,需要的驱动力不断增大;对于特定黏度的胶体,在合适气压范围内,调控分配频率可实现对微喷体积的调节.
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关键词
微喷阀
压电致动
位移放大
集总参数法
电子封装
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职称材料
题名
压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验
1
作者
路士州
周凤岐
任晨亮
刘伟
黄博
机构
山东大学(威海)机电与信息工程学院
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第9期926-932,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(51605261)
博士后科学基金资助项目(2016M592179)
山东省科技发展计划项目(2016GGX103004)
文摘
为实现微电子封装领域各类胶体的精确微量分配,设计了基于菱形放大机构放大压电致动器位移的微喷系统,利用集总参数法建立了该系统的等效电器模型,通过实验验证了模型和仿真结果的可靠性,分析了系统参数对胶滴体积和脱离效果的影响.实验和仿真表明:撞针位移在0.3~0.5mm时为有利于喷射胶滴的范围内;针对3Pa·s黏度的胶体,当驱动气压在0.15~0.32MPa时,喷射体积与驱动气压成正相关趋势;随着黏度的增大,相同条件下可获取的胶滴体积不断减小,需要的驱动力不断增大;对于特定黏度的胶体,在合适气压范围内,调控分配频率可实现对微喷体积的调节.
关键词
微喷阀
压电致动
位移放大
集总参数法
电子封装
Keywords
jetting valve
piezostack-driven
displacement amplification
lumped parametermethod
electronic packaging
分类号
TP24 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电驱动菱形放大式胶体微喷系统的建模与实验
路士州
周凤岐
任晨亮
刘伟
黄博
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
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