YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响

为了增加单次激光脉冲刻蚀微坑的深度,提高加工效率,利用双声光调制技术,通过对比不同能量密度的脉冲激光刻蚀微坑深度,及对比两种激光器输出的激光脉冲刻蚀微坑形貌,研究了激光参量对刻蚀微坑形貌的影响。结果表明,脉冲能量密度为20.21J/cm^2时,刻蚀微坑深度达到最大值,继续增加能量密度时,微坑深度将随之减小;相比于单腔激光器,双腔激光器刻蚀微坑深度从5μm增加至10μm,微坑直径从161μm降至134μm。

脉冲YAG激光波形对缸套内壁激光刻蚀微坑形貌的影响

为了减小激光刻蚀微坑表面的再铸层及增加刻蚀微坑的深度,利用双声光调制技术,通过对比0.25,7.5和200μs 3个不同量级脉宽,及对比单峰、双峰和三峰等不同激光脉冲波形的激光脉冲刻蚀微坑形貌,来研究激光脉宽及脉冲波形对刻蚀微坑形貌的影响。结果表明,激光脉宽为0.25μs时毛刺较多,脉宽为200μs时表面熔凝现象明显,脉宽为7.5μs时表面熔凝现象及毛刺都明显减少;单峰波形刻蚀微坑表面毛刺较多,深度为7.5μm,三峰波形刻蚀微坑表面出现熔凝现象,深度为10μm,双峰波形刻蚀微坑表面毛刺及熔凝最少,深度为15μm。