激光投影和四步移相法在微型元件测量中的应用与实现

采用微型激光投影技术产生干涉条纹,结合CCD传感器采集图像数据,通过整合四步相位移动测量方法,测量微小元件高度、面积和体积。针对不同的材质使用多波长激光干涉条纹,提高微小元件三维形貌测量的精度。通过Savitzky-Golay滤波器改善测量过程中的系统误差,对微小元件形貌测量可以达到微米级的分辨率。实验证明,激光投影和四步移相测量法在微型元件中平均测量误差可以达到±10μm,具有很高的实用价值。

微型化学实验开发应用中值得商讨的几个问题

微型化学实验与常规实验的相互配合有利于教学质量的提高,同时应注意发挥各种类型微型化实验的作用。测定性实验的微型化要保持原实验的准确度。部分仪器微型化关键在于仪器测量元件的微型化.

基于MEMS技术的车载组合导航系统研究

针对当前车载GPS导航仪实时性和可靠性差的问题,设计出一种基于MEMS技术的低成本车载GPS/MIMU/GIS组合导航系统,建立了GPS/MIMU组合系统的误差模型,对该模型进行了计算机仿真研究,并运用地图匹配算法对GPS/MIMU/GIS导航信息误差进行修正;跑车试验表明,该组合导航系统成本低、精度高,可靠性强,特别适合于军用和民用车辆的导航定位。