微型光学陀螺仪中声表面波声光移频器的研究

微型光学陀螺仪是基于Ｓａｇｎａｃ效应，采用先进的集成光学技术研制的新型光学陀螺仪。研制微型光学陀螺仪的关键在于用频率调制来实现频率伺服，对主要误差进行有效抑制，实现高精度Ｓａｇｎａｃ频差测量。声表面波声光移频器正是解决上述技术关键的一个集成光学核心器件。针对微型光学陀螺仪对声表面波声光移频器所提出的衍射效率为３％～５％，频移范围±３００ｋＨｚ，短期频率稳定度优于１０－８这些特殊要求，依据声光理论进行了分析与特殊设计。采用平面集成光学工艺，在Ｋ８玻璃基片上研制出声表面波声光移频器。实验结果表明，该器件已初步满足设计要求。

微型惯性测量组合的关键技术

采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。

声光学

TN65 99053494微型光学陀螺仪中声表面波声移频器的研究=Researchon surface acoustic wave acousto-opticfrequency shifter for a micro optical gyro[刊,中]/张斌,潘珍吾,丁衡高（清华大学精密仪器与机械学系.北京（100084））//清华大学学报.自然科学版.一1999,39（2）.-65-67针对微型光学陀螺仪对声表面波声光移频器所提出的衍射效率为3%～5%,频移范围土300 kHz,短期频率稳定度优于10-8这些特殊要求,依据声光理论进行了分析与特殊设计,采用平面集成光学工艺,在K8玻璃基片上研制出声表面波声光移频器。图5参6（李瑞琴）