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微机电系统的研究及应用
被引量:
1
1
作者
丁群燕
曾鑫
《装备制造技术》
2008年第7期105-106,共2页
概述了微机电系统的结构和特点,介绍了微机电系统的研究和应用领域。
关键词
MEMS
微型器件系统
微执行嚣
集成化
下载PDF
职称材料
题名
微机电系统的研究及应用
被引量:
1
1
作者
丁群燕
曾鑫
机构
黄冈职业技术学院
出处
《装备制造技术》
2008年第7期105-106,共2页
基金
湖北省教育厅教学研究项目20060426
文摘
概述了微机电系统的结构和特点,介绍了微机电系统的研究和应用领域。
关键词
MEMS
微型器件系统
微执行嚣
集成化
Keywords
MEMS
Micro Devices System
Micro--Actuator
Integrated
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
微机电系统的研究及应用
丁群燕
曾鑫
《装备制造技术》
2008
1
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