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题名带有位移检测功能的纳米级定位平台
被引量:4
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作者
王家畴
荣伟彬
李昕欣
孙立宁
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机构
哈尔滨工业大学机器人研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室
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出处
《纳米技术与精密工程》
EI
CAS
CSCD
2008年第5期376-382,共7页
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基金
国家杰出青年基金资助项目(50725518)
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z315)
长江学者和创新团队发展计划资助项目
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文摘
为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台.介绍了定位平台的工作原理,通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现定位平台的结构设计.提出了一种面内侧壁压阻加工方法,成功地在定位平台上集成了压阻位移检测传感器.实验结果表明,有效驱动电压取23.68V时,定位平台最大单轴输出位移为10μm,运动平台的定位精度优于20nm;室温下压阻传感器的阻值为4.2kΩ,击穿电压为75V,在平台输出位移为10nm时,压阻器件的灵敏度(电阻相对变化)达到了3.6×10-5,完全满足设计要求.
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关键词
体硅微加工工艺
微型定位平台
面内侧壁压阻
有限元方法
压阻灵敏度
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Keywords
silicon bulk micromachining
positioning micro X-Y stage
sidewall piezoresistor in plane
finite element method
piezoresistive sensitivity
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分类号
TP274
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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