微型惯性测量装置

在介绍微型惯性测量装置工作原理的基础上,详细阐述了系统件的软硬实现过程,并通过转台试验验证了利用其进行导航计算的正确性和有效性。

一种用微型惯性测量组合进行三维位置测量的方法

研究了微型惯性测量组合的一种新的应用 ,即应用微型惯性测量组合进行三维位置的测量。详细介绍了应用微型惯性测量组合进行三维位置测量的方法 ,给出了陀螺角速度提取、转换矩阵求解、三维位置计算、姿态角求取等具体过程 ,在选取惯性级器件并尽量减小测量时间的情况下可以得到较为满意的结果。该方法在大型复杂工件的在线加工制造、测量标定等方面具有明显的应用前景。

微型惯性测量组合的关键技术

采用微米／纳米技术的微型惯性测量组合具有低成本、长寿命和高可靠性等优点，本文论述了国外这项技术的发展动向，提出了微硅及微型光学惯性器件关键技术的研究任务。

基于微型惯性测量组合的大型工件三维位置测量方法

提出了利用微型惯性测量组合进行工件三维位置测量的方法，对这一方法的测量原理进行了详细阐述，对坐标转换、姿态矩阵求解、位置计算等均给出了详细的数学模型及算法。采用普通陀螺及加速度计进行了原理性试验，给出了相应的试验结果。另外，对这一方法进行了误差分析，指出了它不同于一般捷联式系统的特点，分别针对惯性传感器和系统整体给出了相应的误差修正算法，提出了提高测量精度的措施。实际证明，本方法具有实现方便、检测速度快及可实现连续测量等优点，对大型工件及复杂表面的快速测量具有明显的实际意义。

基于DSP的微型惯性测量系统设计

微机电技术的发展使得微型惯性测量系统的大量应用成为可能,而工业消费领域的大量需求也促进着低成本惯性测量系统的研究。介绍了一个以DSP TMS320LF2407为中央处理芯片的惯性测量系统,包括系统的硬件结构和软件设计方案,并给出了原理样机测试结果。与目前大多数惯性导航系统相比,该系统具有体积重量小、功耗低、可扩展性好、成本低等特点。

微型惯性测量系统及其应用

目的 对微机电系统 ( MEMS)和微型惯性测量系统的国内外现状、国家政策进行介绍 ,讨论微型惯性测量系统 ( MIMS)应用技术 .方法 结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对策 ,在应用技术方面 ,采用系统优化、设计专用集成电路并采用抗高过载方法 .结果与结论 模块化集成方法能够满足部分需求 ,已在我国一些重大型号上获得应用 .微型惯性测量系统是今后需要重点研究的微机电系统之一 .

对中杆微型惯性测量单元的高精度方位初始对准方法

针对在微型惯性测量单元(MIMU)辅助实时动态差分(RTK)对中杆倾斜测量中,倾斜误差补偿效果严重依赖于MIMU惯导的方位初始化精度的问题,提出求解初始方位角的3点法,即在保持对中杆下尖不动的情况下,将对中杆在3个方向上倾斜一定的角度,建立反映方位失准角的量测方程,通过迭代方法进行求解;然后对3点法进行简化,得到更为简洁的2点法。实验结果表明,经过该方法的MIMU惯导方位初始化后,在对中杆倾斜40°的范围内RTK测量精度优于1.25cm。

基于微电铸工艺的镍微型惯性开关的研制

为满足安全气囊辅助系统对信号识别的可靠性要求,采用UV-LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺在不锈钢基底上制作了一款轴向触发的镍微型惯性开关,其利用阿基米德螺旋梁结构来支撑悬空质量块,中心止挡柱作为螺旋梁过载保护结构,开关敏感方向垂直于衬底的方向。在制作过程中,引入了掩膜版线宽误差补偿的方法,降低了因胶膜溶胀与无机酸去胶等工艺带来的尺寸误差,通过煮沸的无机酸去除胶膜得到了结构完整的开关。最终制作出了整体尺寸为3850μm×3850μm×240μm、最小线宽尺寸为40μm的开关,并通过落锤试验对开关进行动态特性测试。

微型惯性测量组合的构成及标定技术

微型惯性测量组合就是将微加速度计、微陀螺、微信号变换处理电路和信号校正电路进行综合集成,从而获得载体的综合惯性参数测量,它可以实时提供包含载体姿态和位置信息的六个独立惯性参数,利用系统集成理论,组成了微型惯性测量组合样机,并对其进行了标定。

基于微型惯性电学开关的加速度阈值检测系统

传统的加速度阈值检测系统是基于微机械加速度计设计的,整体设计复杂,响应速度低,且易受外界电磁干扰。鉴于此,给出了一种基于微型惯性电学开关的加速度阈值检测系统的新式设计,通过微型惯性电学开关来感知和判断加速度是否超过阈值,然后对其输出信号进行处理,最后由LED显示检测结果,同时设置了复位功能以便重复检测。对研制的系统进行了理论分析和电路仿真,并用落锤装置对制备的系统样品进行测试,结果表明:对于不同的加速度阈值,系统均能实现准确检测的功能。

基于微型惯性测量单元的姿态测量系统

采用国产微机械石英陀螺仪和挠性加速度计,研制出微型惯性测量单元,利用外部速度和航向信息,构成微型惯性测量单元的姿态测量系统,用它来测量关心区域的局部水平姿态,经模拟台和跑车试验,该姿态测量系统的水平姿态测量精度小于0.2°。

基于KXR94加速度计的微型惯性测量装置设计

详细介绍基于MEMS(Micro Electro Mechanical System)和DSP的微型惯性测量装置的软硬件设计。该装置的MEMS传感器单元由微机械陀螺和微加速度计组成,可精确测量载体的3个轴向角速度信息和3个轴向加速度信息。经验证,该装置可精确测算出载体的航向角、俯仰角及位置等信息,并具有体积小、成本低、功耗低、抗冲击能力强等优点。

微型惯性测量组合

本文论述了惯性测量器件和组合的发展简史、机遇，选择微型惯性测量组合牵引我国微米／纳米技术发展的依据，以及采纳的技术路线。

微型惯性测量装置的技术分析与发展建议

1 引言 在惯性测量系统中,惯性敏感器件--陀螺仪和加速度计是其重要的组成部分,同时也是制约仪表小型化和微型化的瓶颈.长期以来人们一直在探寻使其小型化的途径和方法,基于微机电技术研究设计微型惯性测量系统一直是值得关注的领域.

微型惯性测量组合

本文论述了惯性测量器件和组合的发展简史、机遇，选择微型惯性测量组合牵引我国微米／纳米技术发展的依据，以及采纳的技术路线。

微型惯性测量组合标定技术

对微型惯性测量组合 (MIMU)的系统标定技术进行了研究 ,利用加速度计的静态输出 ,得出了初始安装角误差、零位偏差及标度因子的计算方法 ,详细介绍了各参数的测量原理及计算公式。从实际应用的角度出发 ,对加速度计零偏的实时计算方法、基座初始水平偏差的影响及横向灵敏度的影响进行了分析 ,得出了相应的数学模型及修正算法。在此基础上进行了一定距离姿态及位置测量试验 ,给出了试验结果。试验结果表明 ,位置测量精度可提高到 1～ 2 cm ;

集成微型速率捷联惯性测量组合测试系统

本文研究了基于MIMU的集成速率捷联测试系统,介绍了速率捷联系统的组成,采用微机械设计、专用集成电路设计和系统集成设计的方法,设计了MIMU组合及测试系统.阐述了微型惯性测量组合的工作原理及其结构设计,介绍了实用型MIMU的组成框图,论述了DSP实时解算的算法,制造出了实用性的微型惯性测量组合测试系统.并给出了测试曲线.

新型微型惯性器件技术研讨会通知

无人时代已经到来,人工智能就在眼前。作为敏感之源的新型微型惯性器件技术日新月异,是各国发展的重点和热点之一,与国家经济和社会安全、国际竞争力密切相关。为促进新型微型惯性器件的发展,促进学术交流与繁荣,提升我国新型惯性器件水平,《导航与控制》联合西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室、西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室定于2019年5月24日~5月25日在西安召开新型微型惯性器件技术研讨会.

诱人de微型惯性器件

常规的惯性器件或称机械的惯性器件自1911年在美国斯佩里(Sperry)公司生产以来,已有80多年的发展史,并且日臻成熟。由于这种器件机构比较复杂,体积又较大,而且需要精密的机械加工设施和技术,成品率又往往很低,因此,价格十分昂贵,一套中高精度的惯性测量装置可能需要几万、甚至几十万美元。并且其抗振动、冲击、过载、温度和湿度等环境条件的能力比较低,因此大大地限制了它的广泛应用。

用低温金属电镀技术制造与封装的惯性微型电学开关

运用光刻胶为注模的多次互不干扰金属电镀技术实现了惯性微型电学开关的低温制造与封装.电镀技术的低温过程可使微型开关直接成形于预先制作好的含有电子信号处理电路的基底上,加上同样借助于低温金属电镀技术的基于整个硅晶片的倒装封装,直接形成环绕各个器件的密封腔体.这一技术最终将使得模块化生产成为现实.微型开关的高度和它的密封腔的高度可以分别控制.电子信号可以通过金属互连线进入密封腔体.为了便于设计,建立了一个既简单又相对准确的“弹簧质量块”模型.以此设计的惯性开关,即使在未封装的常温、常压条件下,均可工作109次以上.本文对密封腔体的强度和密封性,以及金属互连线的可靠性,都作了详细的检测,各项指标均达到其各自的标准.