微型机械电子系统的研究动态

阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。

压电驱动器在精密机械中的应用

介绍了压电驱动器的工作原理、特点及其位移性能。分别描述了压电驱动器在超精密测量、超精密定位、超精密加工及微型机械等方面的应用,并给出了具体的应用实例。

微机械学与相似方法

微机械学与相似方法徐世钰（上海大学机械电子工程学院精密机械系）０引言相似方法是人们在探索自然规律的过程中形成的一种常用方法。应用这种方法可以不直接研究自然现象或过程本身，而是对于它们基本相似的模型进行实验，进而推广到与模型相似的自然现象中去得出结论。...

《测试技术学报》征稿启事

《测试技术学报》(ISSN1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技核心期刊”。报道内容:声与超声测量;在线测试;测量仪器;ADC,DAC和数据采集;实验技术与标准;动态测试系统;环境测量;数据压缩;人工智能与神经网络;电磁测量;微波测量;测控技术与总线技术;噪声与振动测量;遥感遥测与遥控;VXI仪器;无损检测;光电测试;生物测试;量子测试;分析测试;材料测试;软件测试;火炸药测试;传感器技术;微型机械电子系统等。

柔性铰链微夹持机构的研究

在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性铰链夹持机构的放大倍数和总张合量.通过调整杠杆机构各个臂长之间的关系,就可以改变微夹持机构的放大倍数和输出的大小,夹持部分的张和量是输入位移的96倍.研究结果表明,平面柔性铰链微夹持机构的输入和输出位移具有良好的线性度,放大倍数可以根据需要进行调整.采用压电陶瓷作为动力组件,通过对压电陶瓷施加电压的调节来精确控制其张合量的大小,可用于对微型零件的操作,因此具有精度高、易控制、性能稳定的优点,可集成于微型装配系统中,并具有广阔的应用前景.

倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器

采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求.

基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究

随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高,还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。

特种压阻式加速度传感器的研制

通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.

耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究

采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装在硼硅玻璃环上,形成倒杯式弹性敏感单元,通过有限元仿真分析了玻璃环对压阻力敏芯片性能的影响.根据温度实验数据及计算结果,得到压阻力敏芯片各温度点的热零点漂移的绝对值均小于0.02%FS·℃-1,说明该压阻力敏芯片的准确度等级优于0.1%FS·℃-1,且零点稳定性好.

《测试技术学报》征稿启事

《测试技术学报》是由＂中国兵工学会＂与＂中北大学＂合办的学术性刊物,本刊热忱欢迎国内外学者投稿。1．论文内容本刊重点报道有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术，内容包括：声与超声测量；在线测试；测量仪器；ADC，DAC和数据采集；试验技术与标准；动态测试系统；环境测量；数据压缩；人工智能与神经网络；电磁测量；微波测量；测控技术与总线技术；噪声与振动测量；遥感、遥测与遥控；VXI仪器；无损检测；传感器技术；微型机械电子系统；分析测试；材料测试；软件测试等。

《测试技术学报》征稿启事

《测试技术学报》(ISSN 1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技核心期刊”,以及RCCSE中国核心学术期刊(A)。报导内容:声与超声测量;在线测试;测量仪器;ADC,DAC和数据采集;实验技术与标准;动态测试系统;环境测量;数据压缩;人工智能与神经网络;电磁测量;微波测量;测控技术与总线技术;噪声与振动测量;遥感、遥测与遥控;VXI仪器;无损检测;光电测试;生物测试;量子测试;分析测试;材料测试;软件测试;火炸药测试;传感器技术;微型机械电子系统等。

微机电系统在计量领域的应用

一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统（Micro Systems），俗称微机电系统。

压电机械手在精密操作中的应用

为了提高有效定位的准确度，本文提出了一种新的大型／微型组合的机械手系统。这对工业机器人的应用是非常重要的。本文详细的介绍了系统的构造、微型机械手设计、系统控制器、控制算法。成功实现了嵌入式装置的实验并给出了结果。