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微型机械电子系统的研究动态
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作者 龚晓燕 《煤矿机械》 北大核心 2001年第11期1-4,共4页
阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
关键词 微型机电子系统 微结构 微细加工 微米技术 纳米技术 尺寸效应
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压电驱动器在精密机械中的应用 被引量:6
2
作者 郑伟智 辛洪兵 《机械工程师》 2003年第3期53-55,共3页
介绍了压电驱动器的工作原理、特点及其位移性能。分别描述了压电驱动器在超精密测量、超精密定位、超精密加工及微型机械等方面的应用,并给出了具体的应用实例。
关键词 压电驱动器 精密机 精密加工 微型机械系统
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微机械学与相似方法
3
作者 徐世钰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期236-237,共2页
微机械学与相似方法徐世钰(上海大学机械电子工程学院精密机械系)0引言相似方法是人们在探索自然规律的过程中形成的一种常用方法。应用这种方法可以不直接研究自然现象或过程本身,而是对于它们基本相似的模型进行实验,进而推广到... 微机械学与相似方法徐世钰(上海大学机械电子工程学院精密机械系)0引言相似方法是人们在探索自然规律的过程中形成的一种常用方法。应用这种方法可以不直接研究自然现象或过程本身,而是对于它们基本相似的模型进行实验,进而推广到与模型相似的自然现象中去得出结论。... 展开更多
关键词 微机 相似方法 相似准则方程 微型机械系统 量纲分析法 相似准则数 雷诺数 混合系统 物理量 微分方程
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《测试技术学报》征稿启事
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作者 《测试技术学报》编辑部 《测试技术学报》 2024年第1期F0002-F0002,共1页
《测试技术学报》(ISSN1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技... 《测试技术学报》(ISSN1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技核心期刊”。报道内容:声与超声测量;在线测试;测量仪器;ADC,DAC和数据采集;实验技术与标准;动态测试系统;环境测量;数据压缩;人工智能与神经网络;电磁测量;微波测量;测控技术与总线技术;噪声与振动测量;遥感遥测与遥控;VXI仪器;无损检测;光电测试;生物测试;量子测试;分析测试;材料测试;软件测试;火炸药测试;传感器技术;微型机械电子系统等。 展开更多
关键词 软件测试 数据压缩 中国兵工学会 人工智能 重点科研项目 微型机电子系统 微波测量 环境测量
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柔性铰链微夹持机构的研究 被引量:11
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作者 田世杰 李兵 +1 位作者 赵惠英 王朝晖 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期483-486,共4页
在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性铰链夹持机构的放大倍数和总张合量.通过调整杠杆机构各个臂长之间的关系,就可以改变微夹持机构的放大倍... 在研究柔性铰链的基础上,介绍了平面柔性铰链微夹持机构的设计与制作,并对此进行了张合实验.利用解析法和实验,分别得出了平面柔性铰链夹持机构的放大倍数和总张合量.通过调整杠杆机构各个臂长之间的关系,就可以改变微夹持机构的放大倍数和输出的大小,夹持部分的张和量是输入位移的96倍.研究结果表明,平面柔性铰链微夹持机构的输入和输出位移具有良好的线性度,放大倍数可以根据需要进行调整.采用压电陶瓷作为动力组件,通过对压电陶瓷施加电压的调节来精确控制其张合量的大小,可用于对微型零件的操作,因此具有精度高、易控制、性能稳定的优点,可集成于微型装配系统中,并具有广阔的应用前景. 展开更多
关键词 微型机电子系统 柔性铰链 微夹持机构
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倒杯式耐高温高频响压阻式压力传感器 被引量:10
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作者 赵立波 赵玉龙 +3 位作者 李建波 梁建强 李勇 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期50-54,共5页
采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应... 采用微型机械电子系统(MEMS)技术制作出了高精度、高灵敏度的硅隔离(SOI)倒杯式耐高温压阻力敏芯片,利用静电键合工艺将力敏芯片封装到玻璃环上,再通过玻璃浆料烧结工艺或高温胶黏剂将玻璃环装配到齐平式机械结构上,从而避免了管腔效应的影响,实现了耐高温高频响压阻式压力传感器的基本制作.通过有限元仿真和实验,分析了安装预紧力对传感器性能的影响,由传感器静态和动态实验得到传感器的精确度为±0.114%FS,动态响应频率为694.4kHz,均满足火工品爆破测试等高温高频动态压力测试的要求. 展开更多
关键词 微型机电子系统 硅隔离倒杯式压阻力敏芯片 齐平式 预紧力
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基于β辐射伏特效应的同位素微电池理论模型研究 被引量:8
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作者 褚金奎 朴相镐 吴红超 《核动力工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期113-118,共6页
随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特... 随着微型机械电子系统(MEMS)的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上,提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高,还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。 展开更多
关键词 微同位素电池 微型机电子系统 理论模型
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特种压阻式加速度传感器的研制 被引量:3
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作者 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1049-1052,共4页
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接... 通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求. 展开更多
关键词 微型机电子系统 固态压阻平膜芯片 弹性梁 高过载 加速度传感器
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耐高温硅隔离压阻力敏芯片的研究 被引量:1
9
作者 赵立波 赵玉龙 +3 位作者 方续东 李建波 李勇 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期59-63,92,共6页
采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装... 采用微型机械电子系统技术制作出了具有高精度、高频响特点的耐高温硅隔离压阻力敏芯片.根据压阻力敏芯片的版图设计结构,基于弹性薄板小扰度弯曲理论计算分析了压阻力敏芯片的结构尺寸和固有频率.采用静电键合工艺将压阻力敏芯片封装在硼硅玻璃环上,形成倒杯式弹性敏感单元,通过有限元仿真分析了玻璃环对压阻力敏芯片性能的影响.根据温度实验数据及计算结果,得到压阻力敏芯片各温度点的热零点漂移的绝对值均小于0.02%FS·℃-1,说明该压阻力敏芯片的准确度等级优于0.1%FS·℃-1,且零点稳定性好. 展开更多
关键词 微型机电子系统 硅隔离压阻力敏芯片 硼硅玻璃环
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Development of Miniature Spectrometers
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作者 ZHANG Zhi-guo 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2007年第2期132-135,共4页
Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development ... Spectrometer is an essential and necessary optical element used for measuring the chemical components and content of the matter. The development of miniature spectrometers can be traced back to 1980s. The development state and different manufacturing methods of micro-spectrometers are presented. Finally, we analyze the miniaturization trend of spectrometers. Some groundwork for the scientific research is offered by introducing micro-spectrometers development. 展开更多
关键词 MICRO-SPECTROMETER micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS) Fourier transform interferometer(FTS) spectroscopy
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《测试技术学报》征稿启事
11
《测试技术学报》 2013年第4期368-368,共1页
《测试技术学报》是由"中国兵工学会"与"中北大学"合办的学术性刊物,本刊热忱欢迎国内外学者投稿。1.论文内容本刊重点报道有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,内容包括:声与超声测量... 《测试技术学报》是由"中国兵工学会"与"中北大学"合办的学术性刊物,本刊热忱欢迎国内外学者投稿。1.论文内容本刊重点报道有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,内容包括:声与超声测量;在线测试;测量仪器;ADC,DAC和数据采集;试验技术与标准;动态测试系统;环境测量;数据压缩;人工智能与神经网络;电磁测量;微波测量;测控技术与总线技术;噪声与振动测量;遥感、遥测与遥控;VXI仪器;无损检测;传感器技术;微型机械电子系统;分析测试;材料测试;软件测试等。 展开更多
关键词 测试技术 学报 微型机电子系统 中国兵工学会 动态测试系统 学术性刊物 VXI仪器 传感器技术
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《测试技术学报》征稿启事
12
作者 《测试技术学报》编辑部 《测试技术学报》 2022年第5期F0002-F0002,共1页
《测试技术学报》(ISSN 1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技... 《测试技术学报》(ISSN 1671-7449 CN14-1301/TP)创刊于1986年,由中北大学主办,中国兵工学会指导,是“中国兵工学会测试技术学会”会刊,刊登有关测试技术的重点科研项目、基金项目的研究成果以及兵器及民用测试的应用技术,是“中国科技核心期刊”,以及RCCSE中国核心学术期刊(A)。报导内容:声与超声测量;在线测试;测量仪器;ADC,DAC和数据采集;实验技术与标准;动态测试系统;环境测量;数据压缩;人工智能与神经网络;电磁测量;微波测量;测控技术与总线技术;噪声与振动测量;遥感、遥测与遥控;VXI仪器;无损检测;光电测试;生物测试;量子测试;分析测试;材料测试;软件测试;火炸药测试;传感器技术;微型机械电子系统等。 展开更多
关键词 中国兵工学会 微型机电子系统 重点科研项目 微波测量 电磁测量 环境测量 人工智能 核心学术期刊
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微机电系统在计量领域的应用
13
作者 王有忠 《中国计量》 2014年第3期68-70,共3页
一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微... 一、微机电系统的发展现状 微型机械电子系统(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)是指由微传感器、微执行器、信号处理和控制集成电路以及微型能源等组成的、高度集成化的、具有信息获取、信息处理以及信息输出和控制功能的微型系统(Micro Systems),俗称微机电系统。 展开更多
关键词 微机电系统 微型机电子系统 SYSTEMS 应用 计量 控制集成电路 高度集成化 微传感器
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压电机械手在精密操作中的应用
14
作者 尤磊 《大化科技》 2008年第3期4-6,共3页
为了提高有效定位的准确度,本文提出了一种新的大型/微型组合的机械手系统。这对工业机器人的应用是非常重要的。本文详细的介绍了系统的构造、微型机械手设计、系统控制器、控制算法。成功实现了嵌入式装置的实验并给出了结果。
关键词 大型/微型机系统 压电制动器 精密装配 应用
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Application of Novel Rotation Angular Model for 3D Mouse System Based on MEMS Accelerometers
15
作者 钱莉 陈文元 徐国平 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2009年第2期137-142,共6页
A new scheme is proposed to model 3D angular motion of a revolving regular object with miniature, low-cost micro electro mechanical systems(MEMS) accelerometers(instead of gyroscope),which is employed in 3D mouse syst... A new scheme is proposed to model 3D angular motion of a revolving regular object with miniature, low-cost micro electro mechanical systems(MEMS) accelerometers(instead of gyroscope),which is employed in 3D mouse system.To sense 3D angular motion,the static property of MEMS accelerometer,sensitive to gravity acceleration,is exploited.With the three outputs of configured accelerometers,the proposed model is implemented to get the rotary motion of the rigid object.In order to validate the effectiveness of the proposed model,an input device is developed with the configuration of the scheme.Experimental results show that a simulated 3D cube can accurately track the rotation of the input device.The result indicates the feasibility and effectiveness of the proposed model in the 3D mouse system. 展开更多
关键词 micro electro mechanical systems (MEMS) accelerometer 3D mouse rotation angular model homogeneous transformation matrix 3D graphical user interface
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