基于飞行时间质谱计的微型气体分析仪技术研究

介绍了自主研发的微型气体分析仪的研究进展和设计思路。该分析仪计划应用于深空探索任务,以飞行时间质谱计为核心,配置了进样系统和抽气系统,应用了场发射离子源和离子反射镜技术,具有质量小(整机小于9 kg)、功耗低(整机功耗小于20 W)、测试质量数宽(amu=1~1000)、质量分辨本领强(大于400)、响应速度快、μs级全谱扫描周期、高检测浓度灵敏度等优点,可在高真空或低真空环境工作。质谱计质量小于2.5 kg,功耗低于5 W。

微型ICP激发源及其应用

介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型Fabry-Perot光谱仪联用可以作为微型气体分析仪使用。并简要介绍作者研制的在较低的13.56MHz下工作的微型ICP激发源。展望随着MEMS技术的发展,微型光谱仪的应用前景。