MEMS半填充气相色谱柱研究

采用MEMS技术设计了一种微型半填充气相色谱柱,运用深反应离子刻蚀(DRIE)技术,对器件刻蚀深250μm,其微型色谱柱总长度为1m,宽度为160μm,槽道内部填充20μm×20μm微型柱。采用静态涂覆法对色谱柱涂覆SE—54固定相。通过理论模拟分析柱结构,得出微型半填充色谱柱具有高分离效率能力。在对酯类化合物分离测试中,选取了含酯类的化学战剂模拟剂和几种酯类食品添加剂,分别对其进行分离,所有组分在75s内被完全分离。实现了微型半填充色谱柱快速并具有高分离率。

可适用于多场景的高精度可燃气体检测系统的设计

随着我国石油化工、化学制药、清洁能源等领域的迅速发展,及时可靠地检测可燃性气体,对于保障安全生产和人民生命健康意义十分重大[1]。本文设计了一种可适用于多场景的高精度可燃气体检测系统,系统中应用了空气发生器、气相填充色谱柱、区域切换阀组等技术,通过一套核心设备监测实现不同场景的气体浓度的高精度检测,具备各个气体成份的变化趋势分析、泄漏源判断以及危险预警等功能。