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微型气相色谱柱芯片研究进展
被引量:
1
1
作者
张海燕
赵斌
+3 位作者
曹可
李磊
郑丹
冯飞
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第3期1-6,11,共7页
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、...
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片。综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面。
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关键词
气
相色谱
微机电系统
微型气相色谱柱芯片
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职称材料
题名
微型气相色谱柱芯片研究进展
被引量:
1
1
作者
张海燕
赵斌
曹可
李磊
郑丹
冯飞
机构
上海应用技术大学化学与环境工程学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第3期1-6,11,共7页
基金
国家重点研发计划资助项目(2018YFA0208504)
中国科学院战略性先导科技专项(A类)项目(XDA22020504)
国家自然科学基金资助项目(61805269)。
文摘
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析。微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏。微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片。综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面。
关键词
气
相色谱
微机电系统
微型气相色谱柱芯片
Keywords
gas chromatography
micro-electro-mechanical systems(MEMS)
micro gas chromatography column chip
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
O658 [理学—分析化学]
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作者
出处
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被引量
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1
微型气相色谱柱芯片研究进展
张海燕
赵斌
曹可
李磊
郑丹
冯飞
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022
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