微型电子机械系统应用于微创外科手术的研究

对微机电系统在生物医学工程方面的应用进行了研究 ,探讨了微创外科手术这一研究热点 。

微型电子机械系统

在微小尺寸范围内,将机械可划分为1～10mm的小型机械,1μm～1mm的微型机械,以及1nm～1μm的纳米机械。所谓微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS),从广义上包含小型、微型和纳米机械,但并非机械的单纯微小化,它集微型机械、

采用微型电子机械系统技术的微型原子力显微镜

美国达拉斯的德克萨斯大学的研究员们使用微型电子机械系统（MEMS）技术在薄片上研制了一种微型原子力显微镜（AFM），该技术多用于智能手机中的加速计以及陀螺仪中。该1cm^2大小的原型设备附着于打印制成的半张信用卡大小的环形平板，并且以“轻敲模式”进行工作，即一带有锐利尖端的微型悬臂通过上下震动扫描材料表面。

一种谐振式微加速度计的设计

提出一种基于谐振原理、电容检测的微型加速度计。通过外加加速度使质量块经杠杆将力放大施加到谐振器上,改变谐振梁上的轴向应力,从而改变谐振梁的振动频率。研究表明这种加速度计的测量范围达66 g。同时采用有限元法进行了仿真模拟,结果显示传感器灵敏度约18 Hz/g,工作模态固有频率为625.981 kHz。

一种新型电容微加速度计的设计与仿真

提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计。通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距得到与加速度成比例的电压信号,从而测出加速度大小。研究表明:这种加速度计的灵敏度可明显提高。同时采用有限元方法进行了仿真模拟,结果显示系统测量范围可达100 g、工作模态固有频率为209036 Hz。

身边的实验教学装备——智能手机

目前的智能手机都具备多种传感器,并附带了各种测试软件,可以对周围环境的力、热、声、光、电、磁等物理量进行从简单到复杂的测量。在校的初高中学生乃至小学生,几乎都备有智能手机,这身边的实验教学装备就给随时进行的物理实验创造了条件;而对待数据的态度和数据处理的方法则为培养学生创新能力提供了支持。1智能手机中的传感器智能手机中配备的传感器,绝大部分属于MEMS（Micro Electro Mechanical System,微型电子机械系统,或简称为微机电系统）传感器，它的应用已经涉及电子、机械、材料、物理、化学、生物、医学等多种科技领域。一般的智能手机上都具有了压力传感器、重力传感器、加速度传感器、角加速度传感器、位移传感器、方向传感器、光传感器、声传感器、温度传感器、红外传感器、湿度传感器、磁力传感器、GPS（全球定位系统）定位器等。

功能材料与化学传感器

第6届化学传感器国际会议于1996年7月22～25日在美国马里兰州举行,有28个国家和地区的421名代表与会。会上发表约200篇论文,内容涉及下列14个方面(括号内为论文数):气体传感器(44)、生物传感器(27)、声传感器(15)、温度传感器(15)、敏感原理和机制(14)、电化学器件(13)、光学器件(13)、传感器制造技术(13)。

硅表面自组装膜的构建及其摩擦学性能研究进展

总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展。单层膜能够有效降低硅基底的摩擦系数,但是其承载能力和抗磨损性能较差,其中较为典型的是OTS(十八烷基三氯硅烷)自组装膜;有机双层膜和多层膜的出现,一定程度上改善了单层膜的承载能力和耐磨性,但膜的有序性和稳定性还有待于进一步的提高;近年来,有机/无机复合膜的研究为改善硅表面的摩擦学性能提供了一条新的途径,有望成为今后该领域研究的一个重要方向。

改变二十一世纪的MEMS技术

在离世界闻名的圣安得里斯大断层仅5千米之遥的美国施乐公司的研究中心,摆放着一个极小但意义重大的模型。这个模型上布满着由电线相互连接的无数个微型婴儿奶嘴形状的传感器。将来。

电子工艺

Y98-61442-421 9907388微电子机械系统最新技术水平综述=Microelec-tromechanical systems(MEMS):an overview of currentstateof-the-art[会,英]/Madni,A.M.& Wan,L.A.//1998 IEEE Aerospace Conference Proceedings,Vol.1 of 5.—421～427(PV)讨论了微型电子机械系统(MEMS)的应用和基础。详细介绍了4种主要的硅微机械加工技术:块微机械加工、表面微机械加工、圆片-圆片键合和高纵横尺寸比微机械加工。还讨论了微型电子机械石英速率传感器。这些技术已用于航空航天、军事、工业、医学、电信和汽车工业,以便以成本合算的方式实现小型化高度集成 MEMS。

半导体与微电子技术

Y98-61400-128 9903084微型电子机械系统中的组合技术=Merged technologyon MEMS[会,英]/Lee,M.M.O.//1997 IEEE HongKong Electron Devices Meeting.—128～135(UV)本文是一篇特邀论文,主要介绍了未来微型电子机械系统用的智能传感器的趋势。也说明了校正、增益阶段和微控制器装置以及高电流/高电压 CMOS 驱动器集成到三芯片组件、两芯片组件和单片式芯片的方法,这些组件可用于未来的汽车、工业和医学微型电子机械系统产品中。

微特电机

Y2000-62027-179 0005509新型微型电子机械系统静电横向输出电机的性能与可靠性=Performance and reliability of a new MEMS elec-trostatic lateral ouzput motor[会,英]/Patton,S.T.&Cowan.W.D.//1999 IEEE Internarional ReliabilityPhvsics Symposium.—179～188(UC)

科技前沿

1号情报眼睛其实没有表情 人们常说"眼睛是心灵的窗口"、"他的眼睛会说话"。其实,说来你一定不会相信:眼睛反映的可能只是情绪的紧张程度,却不能反映真正的表情,比如喜悦和悲哀,这个结论是在对著名的"蒙娜丽莎"

天线与天线阵

Y2000-62073-23 0005989CDMA 多天线系统中相关干扰分析=Correlated inter-ference analysis in CDMA mult-antenna systems[会,英]/Yanikomeroglu,H.& Sousa,E.S.//1999 IEEEInternational Conference on Communications.Vol.1 of3.—23～28(HC)

半导体激光器、集成光学激光器

Y2000-62027-198 0005586利用微型电子机械系统式微型镜面技术检测激光功率的方法=Laser power monitoring using MEMS mi-cromirrortechnology[会,英]/Agarwal,A.& Arney,S.//1999 IEEE International Reliability Physics Sympo-sium.—198～201(UC)