微型真空泵抽气性能集成自动测量方法的实践研究

微型真空泵的便携式、低功耗、低价格、易集成的特性,具有广泛的应用前景。本文基于微型真空泵的性能测试方法和系统缺乏的现状,针对目前微型真空泵和微小型待测容器极限真空难以测量的问题,提出用静态膨胀法和天平称重法测试极限压力和抽速的思路。实验研究了不同抽速和不同容积测试罩下的系统特性,结果表明,当控制测试罩容积在测试过程中达到极限真空的时间为20~40 s,大小测试罩容积之差在10倍以内时,测试快速准确。

片上微型真空泵的研究进展

近年来,真空电子器件和系统正朝着微型化、片上化和集成化的方向发展,这使真空电子器件具有了更加广阔的应用前景。获得一定的真空环境是真空电子器件正常工作的必要条件,利用真空泵来实现真空的获得是最有效的方法。但是传统的真空泵体积大、质量大,不能满足片上微型真空电子器件的应用要求,因此以获得片上真空环境为目的的芯片级微型真空泵的研究具有重要意义。本文分为压缩型真空泵和吸附型真空泵两部分来介绍片上微型真空泵的研究进展,包括不同类型真空泵的工作原理、性能表现、优缺点等。

自强不息 勇于创新——记北京海淀制冷工具设备厂依靠科技进步开发新产品

在当今的治理整顿中,困难和机遇并存的局面摆在每一个企业面前。集体和乡镇企业如何以其独特的生产、经营机制和条件经受住巨大的风险压力呢?有许多成功的经验告诉我们,把压力变动力,把困难变机遇,扬长避短,积极拼搏,就一定能走出低谷,与国家骨干企业齐头并进,占领市场。