微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量

为实现对硅微机械与光纤组合式阵列传感器的核心敏感元件———微型硅梁的杨氏模量和内应力进行测试 ,提出了利用光纤耦合机理来测量微型硅梁的横向固有振动频率 ,进而推导梁构件杨氏模量和内应力的方法 ,原理简洁 ,具体实现也较为可行 ,从而为机械构件的机械性能测试分析提供了方法 ,具有实用意义 .