微型磁通门传感器研究

介绍了一种新型的基于印刷电路板技术基础上制造的环形微型磁通门传感器的工作原理和结构。这种传感器由三层组成,上下两层用来制作铜板线圈,中间层用来制作25μm厚的高磁导率无定形铁磁薄芯。文中还研究了该传感器在不同的外部磁场方向下环形磁通门传感器输出电压和和磁感的函数关系。

微型线圈-铁芯结构传感器中聚酰亚胺的低成本刻蚀和平坦化方法

研究了预亚胺化温度、时间以及刻蚀时间对聚酰亚胺湿法刻蚀结果的影响。预亚胺化后2.5μm厚的PI-5型聚酰亚胺采用EPG 533型光刻胶作为掩膜时,预亚胺化采用90℃/5 min^140℃/10 min方案,采用1%KOH溶液,15 s的显影/刻蚀时间会得到较好的刻蚀结果。在此基础上,通过实验研究了一种低成本的填充式平坦化技术。通过在底层线圈上旋涂第1层聚酰亚胺,湿法刻蚀去除铜线上的聚酰亚胺保留间隙中聚酰亚胺,然后再旋涂第2层聚酰亚胺的方式,完成了第2层聚酰亚胺的平坦化。与直接在底层线圈上旋涂聚酰亚胺而不做平坦化处理比较,起伏高度差从1.8μm降低到150 nm,且起伏缓慢、无明显台阶。应用这种技术制备了一种采用线圈铁芯结构的微型磁通门传感器并进行了测试,传感器工作正常,性能优良。