新型两坐标微型驱动器的研究

本文提出了一种新型的两坐标微型驱动器,这种驱动器具有两轴共体,压电元件与带圆弧缺口支点机构一体化的特点。文中对这种驱动器的结构设计和相应的控制器设计进行了研究对整个系统的静,动态特性进行了计算机仿真与实验研究。经计量部门测定,这种驱动器的驱动范围为50μm×50μm,重复精度达0.03μm,带宽在400Hz以上,驱动力为0.74N。这种微型驱动器可作为生物医学工程和所有高精度微细加工领域中的定位和驱动装置。

基于内窥镜驱动用微型驱动器试验研究

针对医用内窥镜驱动系统 ,提出了一种通过电磁感应加热感应导体 ,再通过感应导体加热其周围石蜡的无导线热膨胀微型机械驱动器。石蜡在其熔点附近具有很大的膨胀系数 ,而且其熔点可以调节 ,试验所用石蜡膨胀系数可达到 15 % ,熔点在 37℃～ 39℃之间 ,适合在人体环境内使用。采用电磁感应加热 ,驱动器与驱动源之间无需导线连接 ,使驱动器的使用更加方便。通过对驱动器的位移输出性能试验发现 ,热膨胀驱动器具有很大的输出力 ,试验所用驱动器的内径为 3 .5mm ,其输出力可以达到 30N以上 ,其最大平均运动速度可以达到 0 .15 6mm/s。

采用 PWM 调速的机床工作台微型驱动器

机床工作台微型驱动器采用集成电路实现脉宽调制（ＰＷＭ）方式调速，用ＭＯＳＦＥＴ管驱动电机；用一电桥电路取代测速发电机，获取进给速度信号，实现进给速度的闭环控制。电机经两级齿轮减速后，带动工作台移动。由于控制电路所占的体积紧凑，可和齿轮减速机构装配在一起，使得该驱动器实现了微型化。

微型驱动器及其测试技术

微驱动器是微型机电系统的关键部分。本文讨论了微驱动器中的微静电马达、微电磁马达、超声波马达、压电微驱动器、形状记忆合金微驱动器,并介绍了微驱动器的测试技术。

高科技的微型驱动器

小巧、有效及耐用的这些在maxon微驱动产品范围内所体现的特点是电机的一项完美说明。其中包括了直径在6～10mm间的无刷及有刷直流电机，这一设计为客户带来了很多好处。

WEG推出简单可靠的CFW10微型驱动器

近日，WEG公司推出了一款面向OEM商和一般用户的微型驱动器——CFW10。该产品提供了现代变速驱动器应具备的几乎全部特性（包括数字信号处理）。与同类产品相比，CFW10结构更紧凑，成本更低，更便于使用。

易于配置的微型驱动器

伟肯（Vacon）的最新系列微型驱动器结构紧凑、价格具有竞争力，是专为消除不必要的复杂性而设计的，同时保留标准工业应用所需的全部功能，包括水泵、风机和简易传送机的控制。因此，新的Vacon10驱动器很容易且方便地指定和使用。

Technosoft推出插件式智能微型驱动器

Technosoft公司最近推出一款新型插件式智能微型驱动器——PIM2401。该产品专为那些空间极为有限的运动控制应用而设计，其尺寸仅为39×44×14mm，重约15克，可根据需要安装在OEM设备内部或电机附近，垂直、水平均可。

柔性膜式微型电磁驱动器的设计与仿真分析

硅橡胶具有生物兼容性好且制作技术与微细加工工艺兼容的优点,采用硅橡胶作为MEMS驱动器中的振动膜具有较好的应用前景。研究了一种微型电磁驱动器,由内嵌永磁体阵列的柔性硅橡胶(PDMS)振动膜和线圈两层构成,采用电镀工艺制作线圈层;采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化,制作内嵌磁体阵列的硅橡胶膜,对磁体磁化后可作为双向驱动器。对该驱动器进行了理论分析与数值模拟,采用有限元分析工具ANSYS对微驱动器的电磁驱动力及其挠度进行分析,二者结果基本一致,振动膜中心最大挠度的分析误差为7.96%,其一阶固有频率的分析误差为16.1%。

柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈,在 Parylene 薄膜上电镀 NiFe 合金阵列,采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。

微型电磁驱动器

微型驱动器作为构成微机械系统的要素单元技术之一，一直是各国微机械研究项目的共有研究内容，一旦微驱动技术获得突破，将有可能在此基础上构造实用化的可动微系统，从而带动微机械整体技术的全面发展。为了使微驱动器在微机械系统中得到应用，当前的首要任务是设法提高微驱动器的力能指标，并以此为基础解决微驱动器的通用化和实用化问题。本文提出了一种称为“端面摇摆式微型电磁驱动器（马达）”的基本设计思想，它在原理上最大可能地避免了摩擦力对转子扭矩输出的影响；并充分地利用了法向电磁力产生旋转运动，因而有可能在相同的尺寸和输入功率的情况下，产生更高的扭矩输出。作为一种新型的低速、大扭矩马达，这种驱动器更有利于在系统中作为动力源使用。本文就该驱动器的微机构原理、换能理论以及测试技术作简要分析。

微型电磁驱动器中微小电磁力的研究

设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器。该驱动器具有较大的驱动力和行程 ,适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电系统中。研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力 ,并用有限元模拟软件ANSYS 。

机器人微型电机驱动器的设计与实现

文章以成功应用于拟人机器人手上的多电机微型驱动器为例,详细介绍了采用一种极其简化的逻辑电路所实现的直流电机微型驱动器。

微型伺服驱动器开关电源设计

为提高伺服驱动器的集成度,减小其体积,降低损耗,提出一种采用平面变压器的多路输出反激式开关电源,为伺服驱动器提供辅助及开关管驱动电源。采用UCC38C43作为电流控制芯片,增加了工作电压软起动电路,提高了系统的稳定性。对反激变换器在电流断续模式(DCM)下的工作原理进行了理论分析,讨论了平面变压器的设计并给出了计算公式。设计完成了20～60V直流电压输入,2路5V、4路15V直流输出,110kHz开关频率的原理样机,实验结果证明,该样机可在较宽的输入电压范围内实现可靠输出,且效率较高。

小小驱动器 蕴含大能量

微型驱动器不仅在工业应用中受到重视,由于它们的特性,在医学和实验室技术方面也有需求。Faulhaber公司将介绍哪些应用程序中使用了哪些驱动器。Faulhaber最小的电机,如BXT产品系列的无刷直流电机可以满足医疗技术和实验室自动化的高要求,具有良好的可控性,能在紧凑的安装空间内高效及长期可靠地运行。它们工作时无启动扭矩且节能。此外,Faulhaber展示了驱动器在呼吸机和自动分析设备中需要执行哪些任务。为了遏制“Sars-CoV-2病毒”的传播,世界各地已经并正在采取许多措施,因此,需要扩大实验室和分析能力,以加快解毒剂或疫苗的测试和研究。

触点式微型光热驱动器设计及实验研究

随着微电机系统(MEMS)在众多领域的广泛应用,各种形式的微型驱动器不断得到发展。介绍微尺度光热膨胀与光热微驱动的原理,设计与加工制作了基本型和优化型触点式微型光热驱动器,开展了光热微驱动的实验研究,证明了光热微驱动的可行性,并验证了优化型触点式微型光热驱动器的优化性能。

MotionControlProducts推出支持板载安装的微型伺服驱动器

MotionControlProducts公司日前推出一款名为“Elmo’sTweeter”的超轻型智能数字伺服驱动器，主要面向有／无刷直流电机、线性电机和音圈电机。Elmo’sTweeter的重量仅为27克，尺寸50．8×12．4×41．9mm，峰值功率360W，持续输出功率180W，电压电流参数为3．3V～59V（峰值6．6A）和2．5V～95V（峰值5A）。

基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器

提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩模图形,接着沉积种子层铜(Cu),然后对种子层进行整体Cu的电铸;当种子层生长到20μm左右时,剥离硅片表面的镀层并用光刻胶保护磁芯位置的镀层;再用沿线电铸的方法对线圈进行电铸;最后保护制作好的线圈镀层,电铸NiFe合金材料。在10 mm×10 mm×0.38 mm的硅片上,制作出线圈匝数22×2(铜线截面积60μm×60μm、总长度达1 164 mm)、NiFe合金磁芯尺寸为3mm×3 mm×0.2 mm的高能量密度微型电磁驱动器。把这种微型驱动器应用于无阀微泵做驱动实验:通入0.3 A的正弦电流时,微驱动器产生约50 mN的电磁力。实验结果表明:这种型微电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器具有更高的能量密度,能产生更大的电磁驱动力。

高能量密度微电磁驱动器的制作方法(英文)

提出了一种非闭合磁路型高能量密度微电磁驱动器的制作方法,即利用MEMS工艺在单位面积硅基体上制作多匝、高深宽比的平面线圈和高厚度的磁芯.通过先面电铸再线电铸的方式,以及动态控制电铸电流密度的方法进行平面线圈的制作;通过改变衬底表面粗糙度和种子层厚度的方法,改善合金镀层与衬底的粘附性能,可以在单位面积的硅片上,制作出厚度更大的磁性合金镀层.初步实验结果表明:该微型电磁驱动器在相同的输入功率下,比同类其他微电磁驱动器,能产生更大的电磁驱动力,具有更高的能量密度.

新型微直线驱动器的设计和控制

为减小机器人灵巧手的尺寸,提高其性能,研究了一种新型的集成式微直线驱动器.该驱动器将微型无刷直流电机、旋转—直线转换和减速机构融为一体,并且具有直线位置检测、电机位置检测和极限位置检测等多种感知功能,体积小,输出力大.基于DS1103控制板,建立了驱动器的控制系统.基于多种位置传感信息,利用PID控制,实现了驱动器的轨迹跟踪.该驱动器及其控制系统已经成功地用于HIT灵巧手.