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LIGA工艺在工程中的两类应用
被引量:
5
1
作者
高杨
李枚
+2 位作者
彭良强
张菊芳
黄军容
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期883-888,共6页
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词
LIGA工艺
应用
密码锁
加速度开关
MEMS
微
电子机械系统
同步辐射光剂
微
电铸
微塑铸
下载PDF
职称材料
国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用
被引量:
6
2
作者
刘刚
田扬超
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期47-52,共6页
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性...
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出LIGA应用的一些展望。
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关键词
LIGA技术
微塑铸
微
流体器件
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职称材料
题名
LIGA工艺在工程中的两类应用
被引量:
5
1
作者
高杨
李枚
彭良强
张菊芳
黄军容
机构
上海交通大学微纳米科学技术研究院
中国工程物理研究院电子工程研究所
中国科学院高能物理研究所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期883-888,共6页
文摘
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词
LIGA工艺
应用
密码锁
加速度开关
MEMS
微
电子机械系统
同步辐射光剂
微
电铸
微塑铸
Keywords
LIGA, Combination lock, Acceleration switch, MEMS
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG249.9 [金属学及工艺—铸造]
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职称材料
题名
国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用
被引量:
6
2
作者
刘刚
田扬超
机构
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期47-52,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(10375058)。
文摘
LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出LIGA应用的一些展望。
关键词
LIGA技术
微塑铸
微
流体器件
Keywords
LIGA technique Micro-molding Micro-fluidic devices
分类号
U461.91 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LIGA工艺在工程中的两类应用
高杨
李枚
彭良强
张菊芳
黄军容
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002
5
下载PDF
职称材料
2
国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用
刘刚
田扬超
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
6
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职称材料
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