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轻量化扇形X射线微孔器件研制及性能测试
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作者 徐昭 顾燕 +17 位作者 姜博文 张振 黎龙辉 王健 金戈 张臣 邱祥彪 李玉飞 吴超 杨晓明 贾振卿 赵冬华 宋淳 周新 廖亦戴 李婧雯 郭燕 韩晓明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期241-248,共8页
扇形X射线微孔器件(MPOS)是一种新型的X射线聚焦器件。相较传统微孔聚焦器件,其具有集成度高、轻量化等优势,在空间X射线探测方面具有应用前景。基于MPOS聚焦理论,设计并研制出MPOS聚焦器件,其微孔内壁粗糙度为0.4~0.5 nm,微孔排列精度... 扇形X射线微孔器件(MPOS)是一种新型的X射线聚焦器件。相较传统微孔聚焦器件,其具有集成度高、轻量化等优势,在空间X射线探测方面具有应用前景。基于MPOS聚焦理论,设计并研制出MPOS聚焦器件,其微孔内壁粗糙度为0.4~0.5 nm,微孔排列精度约为5.5%。使用点对点X射线测试平台对器件的聚焦能力进行检测,结果表明,在工作电压为5.0 kV,电流为0.1 mA条件下,聚焦焦斑形貌为清晰的类六角星形,角分辨率为7.7′@1 keV。 展开更多
关键词 X射线光学 X射线聚焦器件 扇形 轻量化 X射线聚焦 角分辨率
原文传递
电脑—探针微孔测量方法研究 被引量:1
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作者 金长善 徐兴中 +1 位作者 于风鸣 王贵生 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第1期40-44,共5页
本文讨论了微孔自动化测量装置的原理与结构。电接触探针在微机控制下,在X方向找中心,在Y方向进行孔径测量。该系统不仅能实现测量过程自动化和测量结果自动显示,而且能自动消除测量工作台丝杠螺母反向间隙对测量精度的影响。
关键词 机控制 探针 测量 微孔器件
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