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电子线路的微孔金属化在电镀铜工艺中的应用
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作者 梁镇杰 《科技通报》 北大核心 2017年第9期172-175,226,共5页
电镀铜残留的添加剂会导致铜在退火过程中很难产生大金属颗粒,造成孔洞缺陷。为此,将电子线路的微孔金属化技术应用于电镀铜工艺中,分析了电镀铜工艺的原理。介绍了电镀铜工艺中的重要阶段,包括电镀液与化学添加剂的选择阶段和退火阶段... 电镀铜残留的添加剂会导致铜在退火过程中很难产生大金属颗粒,造成孔洞缺陷。为此,将电子线路的微孔金属化技术应用于电镀铜工艺中,分析了电镀铜工艺的原理。介绍了电镀铜工艺中的重要阶段,包括电镀液与化学添加剂的选择阶段和退火阶段。分析了电子线路微孔金属化的实现过程,包括除油和整孔、微蚀、浸酸和预浸、活化和加速以及电镀锌。通过电子线路的微孔金属化对电镀铜工艺中的孔洞缺陷进行修复,以增加电镀铜的导电性能。实验结果表明,将电子线路的微孔金属化应用于电镀铜工艺后,电镀铜外观明显变得光滑且带有金属光泽,且镀层导电能力大大增强,说明电子线路的微孔金属化能够有效解决电镀铜工艺中的孔洞缺陷问题。 展开更多
关键词 电子线路 微孔金属化 电镀铜工艺
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电子器件微孔金属化试验研究
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作者 张岑 《电镀与环保》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期33-35,共3页
微孔金属化工艺效果制约着电子器件的导通状况与可靠性。为了获得较理想的效果,协同采用化学镀铜工艺和电镀铜工艺实施印制线路板的微孔金属化。测试结果表明:依次经化学镀铜薄膜层和电镀铜加厚处理,金属化微孔壁面贴覆平整致密、均匀... 微孔金属化工艺效果制约着电子器件的导通状况与可靠性。为了获得较理想的效果,协同采用化学镀铜工艺和电镀铜工艺实施印制线路板的微孔金属化。测试结果表明:依次经化学镀铜薄膜层和电镀铜加厚处理,金属化微孔壁面贴覆平整致密、均匀连续的镀铜层。致密连续且电阻率理想的镀铜层,确保金属化微孔的可靠性,实现印制线路板层间导通互连。 展开更多
关键词 微孔金属化 电子器件 导通 化学镀铜 电镀铜
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微孔沉镀铜前处理研究
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作者 王慧秀 何为 +1 位作者 何波 龙海荣 《印制电路信息》 2006年第12期30-33,共4页
对微孔金属化前处理进行了深入的研究。利用正交实验确定了等离子清洗的最佳条件,利用全面实验研究了等离子清洗,超声波清洗,PI调整等在微孔沉镀铜方面的应用,并通过重复性实验证明了以上实验结论的可靠性,从而实现了在公司现有条件下... 对微孔金属化前处理进行了深入的研究。利用正交实验确定了等离子清洗的最佳条件,利用全面实验研究了等离子清洗,超声波清洗,PI调整等在微孔沉镀铜方面的应用,并通过重复性实验证明了以上实验结论的可靠性,从而实现了在公司现有条件下微孔金属化的目标。 展开更多
关键词 等离子清洗 超声波清洗 微孔金属化 正交实验设计
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毫米波混合集成电路工艺
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作者 何明花 马兰敬 候昌淦 《航天工艺》 1995年第3期11-13,共3页
总结了毫米波混合集成电路的工艺技术。讨论了影响电路性能的关键工艺因素,优化了工艺条件,确定了最佳的工艺参数,从而研制成功了多种毫米波混合集成电路组件,为整机系统国产化及小批量生产创造了条件。
关键词 毫米波 混合集成电路 双面光刻 微孔金属化
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