基于容栅传感器的微小位移测试系统

针对精密机械内部空间狭小,一般位移传感器难以安装的问题,提出了基于容栅传感器的微小位移测试系统。该测试系统利用容栅厚度较小、安装简单的特点,简化了安装操作,避免了对被测试结构的破坏。通过仿真分析和优化设计,消除了传感器的边缘效应,基于差分放大原理的微小信号检测电路,有效地降低了共模干扰,从而提高了传感器的测量精度。试验测试和数据分析表明,测试系统的响应速度快、分辨率高,能快速准确地测量微小位移。