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微小光学零件超精密加工方法概述 被引量:1
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作者 刘林枝 《机床与液压》 北大核心 2012年第22期116-117,33,共3页
随着现代科学技术的发展,微小光学零件的需求量不断增大,因此针对微小光学零件加工方法的研究也越来越多。介绍超精密金刚石车削、超精密磨削、磁射流抛光和磨料液体射流抛光在微小光学零件加工中的应用。
关键词 微小光学零件 超精密金刚石车削 超精密磨削 磁射流抛光 磨料液体射流抛光
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