微小型腔体的精密制造技术研究

本文以实体为(0.4±0.001)mm的微小型腔体为研究对象,对微细铣削、精密抛光和扩散焊精密制造技术进行了研究,制造出尺寸精度高、表面光洁度高的微小型腔体,并且实现了折叠波导微小形变的高精度键合,同时解决装配焊接中微小型腔体的对中精度和焊料流散问题,保证了电磁波的有效传播途径。