一种基于Guard技术的皮安级电流校准方法

针对具有Guard保护端的源表类仪器皮安级电流不易计量的现状,采用取样电阻法的间接测量方案,完成微小电流的有效校准。为解决方案中高源内阻电压精确测量的难题,对源表类仪器广泛采用的Guard保护技术原理进行分析,建立高源内阻电压精确提取模型。研制低电流适配器,组建校准系统,编写自动校准程序,并完成低至1 pA的微小电流校准实验。数据表明:实验结果同上级校准值一致性良好,校准方法能够对具备Guard端口的源表类仪器实现微小电流的有效校准。