极高真空测量中微小离子流检测技术研究

为解决极高真空测量中电离真空计微小离子流的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波、零点调节以及相位补偿等技术,实现了10^(-14)A微小离子流的准确检测。通过与国内外不同型号电离真空计进行试验测试,验证了该设计电路能够准确检测10^(-9)Pa极高真空下的电离真空计离子流,为实现极高真空测量设备国产化提供了技术参考。