高质量光刻胶微小透镜阵列的制作

本文对光刻胶熔融法制作微小透镜阵列的机理进行了进一步深入的理论和实验研究，特别是提出和研究了非球面表面的形成问题。对微小透镜，特别是非球面形成过程的参数控制，例如对光刻胶小圆柱的高度、熔融光刻胶和基片的接触角的控制进行了较详细的讨论。我们制出了具有较好性能的微小透镜列阵，并给出了测量结果以及实物和成象照片．最后，给出了一种建议采用的实时控制高质量微小透镜列阵形成的装置方案。

音圈电机驱动的快刀伺服系统性能测试

研发了一种新的音圈电机驱动的超精密快刀伺服系统,行程达到30mm,最大加速度为920m/s2。通过实验手段获得系统的运动模型,用于控制器的设计。针对一类典型的光学复杂结构曲面-微小透镜阵列进行加工,并对加工结果进行测试与分析。测试结果表明,所研发的快刀伺服系统达到了加工技术要求,为该系统在实际加工中更广泛的应用打下了基础。

光学系统及设计

TH703 97031451光刻胶熔融法制作微小透镜阵列=Fabrication ofmicrolens array by melting photoresist[刊,中]/高应俊,刘德森,闫国安,姚胜利,高凤(中科院西安光机所.陕西,西安(710068))//光子学报.-1996,25(Z1).-80-85对光刻胶熔融法制作微小透镜阵列的机理进行了深入的理论研究和实验,对各种控制透镜元性能的工艺参数进行了实验研究,特别是提出和研究了非球表面的形成问题,制出了具有较好性能的微小透镜列阵,并给出了测量结果以及实物和成像照片。图5参6(严兰)

光学系统及设计

TH703 96020744 光刻胶熔融制作微小透镜阵列=Fusion methodfor fabricating microlens array with photoetchingcements[会,中]/高应俊,刘德森。