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基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
被引量:
5
1
作者
敖卓
陈佩佩
+5 位作者
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第1期48-54,共7页
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工...
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群,集经典生物医学研究方法:表征、解剖、取样、标记,延伸入微、纳米介观层次,为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍,并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。
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关键词
环境扫描电子显微镜
低真空模式
微操纵
微弱力测量
电子束曝光
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职称材料
题名
基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
被引量:
5
1
作者
敖卓
陈佩佩
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
机构
国家纳米科学中心
中国科学院电工研究所
卫生部北京医院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第1期48-54,共7页
基金
中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目(No.Y2332911ZX)
中国科学院科研装备研制和改造项目(Nos.Y2005024
YZ201201)
文摘
环境扫描电子显微镜是在扫描电子显微镜基础上引入可以进行在含水条件下观察非导电性样本的相关技术,因此其极为适合生物样本的观察。基于环境扫描电子显微镜平台,本课题组发展了一整套集形貌观察、物性测量、三维微操控和电子束微加工为一体的设备功能群,集经典生物医学研究方法:表征、解剖、取样、标记,延伸入微、纳米介观层次,为更加深入研究生物医学问题提供实用的工具。本文对此进行了详细地说明和介绍,并举例说明其在医学、材料、微弱力测量和微加工等方面的应用。
关键词
环境扫描电子显微镜
低真空模式
微操纵
微弱力测量
电子束曝光
Keywords
ESEM
low vacuum mode
micro manipulation
micro force measurement
electron beam lithography
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
Q336 [生物学—遗传学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于环境扫描电镜的联合成像表征操纵及微加工设备功能群
敖卓
陈佩佩
殷伯华
谢家仪
孙全梅
齐若梅
韩立
韩东
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015
5
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职称材料
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