吸附微粒对微悬空桥传感器的影响

为了进一步提高传感器的检测精度,对不同位置处吸附微粒的纳米机械传感器的振动特性进行了系统的理论研究.以典型的微悬空桥结构为研究对象,考虑微粒自身质量影响,利用摄动法理论,得到了负载微悬空桥的精确模态振型和相应的谐振频率的表达式.通过该方法,可以很容易地确定吸附微粒的质量与微悬空桥的动态特性之间的关系.结果表明,具有较大质量的微粒对微悬空桥的性能影响较大,随着待测微粒质量的增加,微悬空桥的模态改变不容忽视.最后,通过有限元仿真验证了该结果的准确性.