生物芯片高效点样微悬臂梁探针的微细加工

生物芯片技术是 90年代初发展起来的一门新兴技术 ,将给 2 1世纪生命科学和医学研究带来一场革命。其中生物芯片中的微阵列分析最为关键 ,尤其受到人们的关注和研究。微阵列形成主要由各种探针接触式点样而得的。微机电系统(MEMS)的兴起和发展为点样探针的制备提供了简单而有效的微细加工技术。介绍了基于MEMS技术的SiO2 基微悬臂梁探针的设计和制备 ,并用这种探针进行Cy3标记链亲和素点样。结果表明这种微悬臂梁探针可以点样 2～ 3μm的样点 ,并且一次取样可以点样至少 30 0 0个点 ,从而实现高价生物微阵列点样。

微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析

微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成为一个重要的平台.除了尺度测量外,当人们对表面力和原子间的相互作用力需要更准确和绝对的数值时,需要对微悬臂的弹性系数进行准确的标定,弹性系数的测量精度影响测量力学量的最终结果.本文对目前发展起来的几种标定方法,如参考悬臂梁的标定方法、悬臂梁的共振法和悬臂梁的热噪声振动法,从原理上和试验上进行总结和分析,对相应测试方法和影响测试精度的相关因素进行评述.