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大流量压阻式流量传感器的研制
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作者 王小保 钱劲 张大成 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期449-451,共3页
根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～
关键词 压阻式流量传感器 硅微机械加工 微挡板结构 流体力学 压敏电阻 差压
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