新的电调制反射谱技术及其应用

提出一种微接触电调制反射谱(LCER)测试方法,该方示与无接触电调制反射(CER)谱相比较,可极大降低调制电压。给出了自制的详细样品架结构,测量了InGaAs/GaAs量子阱样品,并与光调制反射谱(PR)相比较,结果证实了此方法的可行性和高光谱灵敏度,表明样品与电极的轻微接触既对测量结果没有明显的影响,又可简化测试条件,降低对测量环境的要求,是研究半导体材料和微结构一种方便而又有效的方法。

光谱学与光谱技术

O433.5 99031483用反射椭圆偏振光谱获得波长调制反射谱=Wavelengthmodulated reflection spectra obtained byreflective ellipsometric spectroscopy[刊,中]/张淑芝,连洁,张燕峰(山东大学光电系.山东,济南(250100))//物理.—1998,27(11).-690-694分析了波长调制反射谱的实质是静态介电函数对能量的一级微商谱,将MOCVD方法生长的GaInP以及掺Si两个样品,用椭偏光谱法测量得到可见光区的介电函数谱,并求其一级微商谱。