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微机电系统(MEMS)中薄膜力学性能的研究
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作者 陈光红 吴清鑫 +1 位作者 于映 罗仲梓 《中国仪器仪表》 2007年第5期49-51,共3页
主要介绍微机电系统(MEMS)中几种测量薄膜力学性能的方法,如纳米压入法、单轴拉伸法、基底弯曲法、微旋转结构法,比较了各种方法的优缺点。这对MEMS器件的设计与研究具有重要意义。
关键词 薄膜 力学性能 微旋转结构法 MEMS
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