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硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光
被引量:
5
1
作者
刘学璋
王柏春
+2 位作者
许向阳
谢圣中
翟海军
《微纳电子技术》
CAS
2007年第3期155-158,共4页
应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618nm)。分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用。
关键词
抛光
纳米金刚石
微晶玻璃基板
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职称材料
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用
被引量:
13
2
作者
韩文爵
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1996年第3期1-5,共5页
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用韩文爵(中国轻工总会玻璃搪瓷研究所200052)ResearchandApplicationofLowTemperatureSinteredGlass-CeramicBasePlate...
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用韩文爵(中国轻工总会玻璃搪瓷研究所200052)ResearchandApplicationofLowTemperatureSinteredGlass-CeramicBasePlate¥HanWenjue(Glass&...
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关键词
微晶玻璃基板
低温烧成
烧成
大规模集成电路
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职称材料
计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究
被引量:
2
3
作者
刘学璋
王柏春
+2 位作者
许向阳
谢圣中
翟海军
《微细加工技术》
2008年第2期28-32,共5页
计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900kg/mm^2~1000kg/mm^2),难以获得亚纳米级光滑表面。讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光工艺条件等因素对抛光效果的影响。结果表明,硬盘...
计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900kg/mm^2~1000kg/mm^2),难以获得亚纳米级光滑表面。讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光工艺条件等因素对抛光效果的影响。结果表明,硬盘微晶玻璃基板的结晶相颗粒大小、玻璃相与结晶相的比例都会影响抛光表面质量;化学机械抛光引起玻璃相的优先抛除,该作用机理不适宜于微晶玻璃基板抛光。工艺条件中压力对微晶玻璃基板的表面粗糙度影响最大,抛光中需要维持合适的压力。选取合适的抛光条件,最终获得了粗糙度为0.208nm(AFM:5μm×5μm)的光滑表面。
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关键词
硬盘
微晶玻璃基板
化学机械抛光
纳米金刚石
亚纳米级光滑表面
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职称材料
新华光三年磨一“片”磁盘微晶玻璃基板填补国内空白
4
《新材料产业》
2002年第12期42-43,共2页
关键词
磁盘
计算机
硬盘
材料
微晶玻璃基板
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职称材料
磁盘微晶玻璃基板
5
作者
张成林
《建材工业信息》
2003年第7期27-27,共1页
关键词
湖北新华光信息材料股份有限公司
磁盘
微晶玻璃基板
硬盘
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职称材料
《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖
6
《稀土》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期94-94,共1页
近日,佛山市海辰科技有限公司企业标准《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖。稀土厚膜电路电热元件标准的产品是基于不锈钢基板、稀土微晶玻璃基板、稀土微晶陶瓷基板、远红外陶瓷基板等基板上...
近日,佛山市海辰科技有限公司企业标准《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖。稀土厚膜电路电热元件标准的产品是基于不锈钢基板、稀土微晶玻璃基板、稀土微晶陶瓷基板、远红外陶瓷基板等基板上形成的稀土厚膜电路电热元件。
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关键词
标准创新
电热元件
厚膜电路
企业标准
家用电器
稀土
中国
微晶玻璃基板
原文传递
题名
硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光
被引量:
5
1
作者
刘学璋
王柏春
许向阳
谢圣中
翟海军
机构
长沙矿冶研究院研发中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第3期155-158,共4页
基金
湖南省自然科学基金(04JJ3074)
科技部院所基金(2004EG113028)
文摘
应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618nm)。分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用。
关键词
抛光
纳米金刚石
微晶玻璃基板
Keywords
polishing
nanodiamond
glass-ceramic rigid substrate
分类号
TQ171.733 [化学工程—玻璃工业]
TQ171.684 [化学工程—玻璃工业]
下载PDF
职称材料
题名
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用
被引量:
13
2
作者
韩文爵
机构
中国轻工总会玻璃搪瓷研究所
出处
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1996年第3期1-5,共5页
文摘
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用韩文爵(中国轻工总会玻璃搪瓷研究所200052)ResearchandApplicationofLowTemperatureSinteredGlass-CeramicBasePlate¥HanWenjue(Glass&...
关键词
微晶玻璃基板
低温烧成
烧成
大规模集成电路
Keywords
s:Integrated circuit Glass-ceramics Base plate Dielectric constant
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ171.733 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究
被引量:
2
3
作者
刘学璋
王柏春
许向阳
谢圣中
翟海军
机构
长沙矿冶研究院
出处
《微细加工技术》
2008年第2期28-32,共5页
基金
科技部院所基金资助项目(2004EG113028)
湖南省自然科学基金资助项目(04JJ3074)
文摘
计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900kg/mm^2~1000kg/mm^2),难以获得亚纳米级光滑表面。讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光工艺条件等因素对抛光效果的影响。结果表明,硬盘微晶玻璃基板的结晶相颗粒大小、玻璃相与结晶相的比例都会影响抛光表面质量;化学机械抛光引起玻璃相的优先抛除,该作用机理不适宜于微晶玻璃基板抛光。工艺条件中压力对微晶玻璃基板的表面粗糙度影响最大,抛光中需要维持合适的压力。选取合适的抛光条件,最终获得了粗糙度为0.208nm(AFM:5μm×5μm)的光滑表面。
关键词
硬盘
微晶玻璃基板
化学机械抛光
纳米金刚石
亚纳米级光滑表面
Keywords
glass-ceramic substrate
chemical-mechanical polishing
nanodiamond
ultra-fine surface
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
新华光三年磨一“片”磁盘微晶玻璃基板填补国内空白
4
出处
《新材料产业》
2002年第12期42-43,共2页
关键词
磁盘
计算机
硬盘
材料
微晶玻璃基板
分类号
TP333.3 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
磁盘微晶玻璃基板
5
作者
张成林
出处
《建材工业信息》
2003年第7期27-27,共1页
关键词
湖北新华光信息材料股份有限公司
磁盘
微晶玻璃基板
硬盘
分类号
TP333.35 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖
6
出处
《稀土》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期94-94,共1页
文摘
近日,佛山市海辰科技有限公司企业标准《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖。稀土厚膜电路电热元件标准的产品是基于不锈钢基板、稀土微晶玻璃基板、稀土微晶陶瓷基板、远红外陶瓷基板等基板上形成的稀土厚膜电路电热元件。
关键词
标准创新
电热元件
厚膜电路
企业标准
家用电器
稀土
中国
微晶玻璃基板
分类号
TM924.03 [电气工程—电力电子与电力传动]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光
刘学璋
王柏春
许向阳
谢圣中
翟海军
《微纳电子技术》
CAS
2007
5
下载PDF
职称材料
2
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用
韩文爵
《玻璃与搪瓷》
CAS
北大核心
1996
13
下载PDF
职称材料
3
计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究
刘学璋
王柏春
许向阳
谢圣中
翟海军
《微细加工技术》
2008
2
下载PDF
职称材料
4
新华光三年磨一“片”磁盘微晶玻璃基板填补国内空白
《新材料产业》
2002
0
下载PDF
职称材料
5
磁盘微晶玻璃基板
张成林
《建材工业信息》
2003
0
下载PDF
职称材料
6
《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖
《稀土》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
原文传递
已选择
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