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硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光 被引量:5
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作者 刘学璋 王柏春 +2 位作者 许向阳 谢圣中 翟海军 《微纳电子技术》 CAS 2007年第3期155-158,共4页
应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618nm)。分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用。
关键词 抛光 纳米金刚石 微晶玻璃基板
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低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用 被引量:13
2
作者 韩文爵 《玻璃与搪瓷》 CAS 北大核心 1996年第3期1-5,共5页
低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用韩文爵(中国轻工总会玻璃搪瓷研究所200052)ResearchandApplicationofLowTemperatureSinteredGlass-CeramicBasePlate... 低温烧成微晶玻璃基板的研制和应用韩文爵(中国轻工总会玻璃搪瓷研究所200052)ResearchandApplicationofLowTemperatureSinteredGlass-CeramicBasePlate¥HanWenjue(Glass&... 展开更多
关键词 微晶玻璃基板 低温烧成 烧成 大规模集成电路
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计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究 被引量:2
3
作者 刘学璋 王柏春 +2 位作者 许向阳 谢圣中 翟海军 《微细加工技术》 2008年第2期28-32,共5页
计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900kg/mm^2~1000kg/mm^2),难以获得亚纳米级光滑表面。讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光工艺条件等因素对抛光效果的影响。结果表明,硬盘... 计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900kg/mm^2~1000kg/mm^2),难以获得亚纳米级光滑表面。讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光工艺条件等因素对抛光效果的影响。结果表明,硬盘微晶玻璃基板的结晶相颗粒大小、玻璃相与结晶相的比例都会影响抛光表面质量;化学机械抛光引起玻璃相的优先抛除,该作用机理不适宜于微晶玻璃基板抛光。工艺条件中压力对微晶玻璃基板的表面粗糙度影响最大,抛光中需要维持合适的压力。选取合适的抛光条件,最终获得了粗糙度为0.208nm(AFM:5μm×5μm)的光滑表面。 展开更多
关键词 硬盘微晶玻璃基板 化学机械抛光 纳米金刚石 亚纳米级光滑表面
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新华光三年磨一“片”磁盘微晶玻璃基板填补国内空白
4
《新材料产业》 2002年第12期42-43,共2页
关键词 磁盘 计算机 硬盘 材料 微晶玻璃基板
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磁盘微晶玻璃基板
5
作者 张成林 《建材工业信息》 2003年第7期27-27,共1页
关键词 湖北新华光信息材料股份有限公司 磁盘 微晶玻璃基板 硬盘
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《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖
6
《稀土》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期94-94,共1页
近日,佛山市海辰科技有限公司企业标准《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖。稀土厚膜电路电热元件标准的产品是基于不锈钢基板、稀土微晶玻璃基板、稀土微晶陶瓷基板、远红外陶瓷基板等基板上... 近日,佛山市海辰科技有限公司企业标准《稀土厚膜电路电热元件》荣获第九届“中国家用电器创新成果”企业标准创新奖。稀土厚膜电路电热元件标准的产品是基于不锈钢基板、稀土微晶玻璃基板、稀土微晶陶瓷基板、远红外陶瓷基板等基板上形成的稀土厚膜电路电热元件。 展开更多
关键词 标准创新 电热元件 厚膜电路 企业标准 家用电器 稀土 中国 微晶玻璃基板
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