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P型微晶硅碳的性能研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用
1
作者
蔡宏琨
陶科
+2 位作者
赵敬芳
胡居涛
张德贤
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1841-1844,共4页
采用RF-PECVD技术,将甲烷(CH4)作为碳的掺杂源沉积P型微晶硅碳薄膜材料,主要讨论P型微晶硅碳材料的结构和性能随CH4掺杂量的变化。采用X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪和傅里叶变换红外吸收光谱仪(FTIR)对薄膜的结构进行表征。随CH4掺杂...
采用RF-PECVD技术,将甲烷(CH4)作为碳的掺杂源沉积P型微晶硅碳薄膜材料,主要讨论P型微晶硅碳材料的结构和性能随CH4掺杂量的变化。采用X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪和傅里叶变换红外吸收光谱仪(FTIR)对薄膜的结构进行表征。随CH4掺杂量的增加,材料的暗态电导率σd减小,薄膜的晶化程度降低。通过调整CH4的掺杂量得到暗态电导率σd为0.15S/cm和光学带隙Eg大于2.0eV的P型微晶硅碳材料。将其应用到PEN柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池上,得到电池效率为5.87%。
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关键词
微晶硅碳薄膜
太阳电池
柔性衬底
PEN
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职称材料
题名
P型微晶硅碳的性能研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用
1
作者
蔡宏琨
陶科
赵敬芳
胡居涛
张德贤
机构
南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系
东京工业大学
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期1841-1844,共4页
基金
国家高技术研究发展(863)计划(2011AA050513)
中央高校基本科研业务费专项资金(65012001)
文摘
采用RF-PECVD技术,将甲烷(CH4)作为碳的掺杂源沉积P型微晶硅碳薄膜材料,主要讨论P型微晶硅碳材料的结构和性能随CH4掺杂量的变化。采用X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪和傅里叶变换红外吸收光谱仪(FTIR)对薄膜的结构进行表征。随CH4掺杂量的增加,材料的暗态电导率σd减小,薄膜的晶化程度降低。通过调整CH4的掺杂量得到暗态电导率σd为0.15S/cm和光学带隙Eg大于2.0eV的P型微晶硅碳材料。将其应用到PEN柔性衬底非晶硅薄膜太阳电池上,得到电池效率为5.87%。
关键词
微晶硅碳薄膜
太阳电池
柔性衬底
PEN
Keywords
p-type μc-SiC: H thin film
solar cells
flexible substrate
PEN
分类号
TM914.42 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
P型微晶硅碳的性能研究及其在柔性衬底太阳电池中的应用
蔡宏琨
陶科
赵敬芳
胡居涛
张德贤
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
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