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微机械元件和仪器新进展 被引量:13
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作者 邵培革 王立鼎 任延同 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第1期10-15,共6页
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。
关键词 微机 微机元件 微机械仪器
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微机械元件和仪器的新进展
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作者 邵培革 王立鼎 《仪器仪表标准化与计量》 2000年第5期19-22,共4页
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来,在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。
关键词 微机元件 微机械仪器 市场预测 微机技术
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微机械生产发展的前景分析
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作者 廉峰 《科技信息》 2006年第04X期34-34,共1页
微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产。具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了啦进展。展现了美好的前景。
关键词 微机械仪器 生产发展 微机元件 大批量生产 成本低 集成度
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