微机械制造技术发展及其应用现状

介绍微机械制造技术的特点及目前微机械加工的主要技术,阐述了微机械制造出现的新技术及其发展趋势,并对微机械加工中的关键技术进行了总结,指出其不同于传统机械加工技术的一些新特点。

浅析超精密微机械制造技术研究进展

超精密微机械制造技术作为工业制造体系的重要组成,是强化加工制造能力、健全工业体系的技术前提。为推动超精密微机械制造技术的迭代升级,满足军工生产、航空航天等技术使用需求,研发团队及其技术人员应当从实际技术发展的角度出发,通过整合各类技术资源,以提升超精密微机械制造技术的运行能力,有效解决加工精度不高、操作难度过大等系列问题。本文从实际出发,通过对超精密微机械制造技术的定向升级,持续发挥其技术优势,满足现阶段机械设备加工的技术使用需求。

微机械制造技术原理分析与技术发展趋向研究

微机械是在20世纪八十年代后期发展起来的一门新型学科,随着社会经济的进步,集成电路实现了大规模发展,在某种程度上促进了电路微细加工技术和超精密加工技术优化,特别是促进了微机械技术.文章对微机械制造技术原理和该技术的应用及未来发展方向进行分析.

一种新结构微型硅电容式麦克风的研制

本文提出一种新型的微型硅电容式麦克风结构及制造方法；单硅片纹膜结构及制造方法，首次实现了纹膜麦克风的制作．对这种结构的麦克风进行了初步设计并制造出一系列结构尺寸的微麦克风．实现了麦克风电容两极板有效区域的自对准．实验证明，纹膜结构大大降低了膜的内应力，且使电容有所增加，因而器件的灵敏度和重复性有了极大的改善．这种微麦克风制造工艺非常简单、可靠，由于是单硅片制造，无需双／多芯片的对准、粘接或键合，大大提高了生产效率和器件的性能．另外，采用了复合膜技术，进一步提高了麦克风的灵敏度．在ｌｍｍ２的膜片上，得到了６．８～１６．０ｍＶ／Ｐａ的开路灵敏度，频率带宽在８～１６ｋＨｚ范围．