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微机械运动的光纤干涉测量
被引量:
2
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作者
丁浩
赵浩
+1 位作者
瞿荣辉
方祖捷
《红外与激光工程》
EI
CSCD
1997年第5期54-58,共5页
文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究,对应不同的样品反射率提出了两种不同的实验装置方案。该实验装置已初步在微电子机械系统的研究中发挥作用。
关键词
微机械运动
微
运动
光纤干涉测量
光学测量
下载PDF
职称材料
题名
微机械运动的光纤干涉测量
被引量:
2
1
作者
丁浩
赵浩
瞿荣辉
方祖捷
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
1997年第5期54-58,共5页
基金
国家科委攀登计划B"微电子机械系统研究"项目
文摘
文中介绍一种无接触测量机械部件微运动情况的光纤Michelson干涉测量方法的原理、实验装置和实验结果。根据计算和实验研究,对应不同的样品反射率提出了两种不同的实验装置方案。该实验装置已初步在微电子机械系统的研究中发挥作用。
关键词
微机械运动
微
运动
光纤干涉测量
光学测量
Keywords
Micro mechanics
Interferometer measurement
Fiber
分类号
TH744.306 [机械工程—光学工程]
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机械运动的光纤干涉测量
丁浩
赵浩
瞿荣辉
方祖捷
《红外与激光工程》
EI
CSCD
1997
2
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职称材料
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