微机电技术在引信中的应用综述

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,以及武器系统对引信目标及干扰的识别能力、目标定位和起爆控制能力、安全控制能力及信息交联能力等军事需求,MEMS技术在引信中应用的优势越来越凸显。MEMS引信不但可以降低成本,还可以耐高冲击等恶劣环境,促使引信微型化、灵巧化和智能化发展。本文分析了MEMS技术在引信中应用特点和必要性,将国外MEMS引信发展按器件级、组件级以及系统级三部分论述,分别对其发展现状进行综述,分析了MEMS技术在引信中的应用趋势,为相关研究提供系统分析与研究的依据。

基于微机电技术的微型飞行器

基于微机电技术的微型飞行器(MAV)由电机、摄像机、导航仪、陀螺仪、数据传输设备等构成。微电子设备置于机翼内,电动马达驱动螺旋桨。MAV具有GPS自主导航和超近距离侦察、目标定位、越障侦察、战场监控、近距离电子干扰,战场信息获取、有害物质提取等多种特殊功能。

SAC/TC 336全国微机电技术标准化技术委员会微机电技术标准体系建设工作情况

我国的微机电系统研究始于二十世纪九十年代初,经过10余年的发展,目前已在基础研究、技术攻关与装备、应用系统等几个层面取得了显著的进展。特别是2002年国家"863计划"启动"微机电系统重大专项"以来,我国的微机电系统技术得到了长足的发展,已经形成覆盖多个研究领域较为完整的体系。与此同时,微机电标准体系也在日趋完善中。

汽车胎压传感器设计与微机电技术发展

近来，汽车胎压检测系统（Tire Pressure Monitoring System；TPMS）在汽车产业或者是电子产业中部获得相当程度的重视与讨论，主要是因为汽车在进行移动时，胎压检测系统能够在第一时间针对汽车轮胎的气压进行自动检测动作，或者是当汽车轮胎的胎压不足及出现漏气现象时，能够提供驾驶者即时信息。以确保驾驶安全。

现代微机电技术的研究与应用现状

微机电技术是20世纪60年代发展起来的一项新兴技术,它将微型机械技术和微电子控制技术相结合,产生了以微型化、集成化和电子化为主要特征的微机电系统。微机电系统不但在民用领域具有巨大的应用潜力,而且其军用前景也相当看好并在不断拓展,预计未来几年这种器件将如同现在的微处理器一样在军事装备中得到普及。 一、制导、导航和控制 以传统机械、环形激光、光纤陀螺和加速度计为基础的惯性测量装置。

全国微机电技术标准化技术委员会成立

国家标准委日前批准成立全国微机电技术标准化技术委员会。其编号为SACFFC336。第一届全国微机电技术标准化技术委员会由29名委员和三名联络员组成，

全国微机电技术标委会2009年年会在京召开

2010年2月24日，全国微机电技术标准化技术委员会（下称“标委会”）一届二次会议暨2009年年会在京召开。标委会秘书处挂靠单位中机生产力促进中心主任李勤到会并讲话，标委会秘书长丁红宇研究员对标委会2009年度工作及2010年工作计划做了详细介绍。

全国微机电技术标准化技术委员会一届二次会议暨2009年年会在京召开

2010年2月24日。全国微机电技术标准化技术委员会（下称“标委会”）一届二次会议暨2009年年会在京召开。标委会秘书处挂靠单位中机生产力促进中心主任李勤到会并讲话，标委会秘书长丁红宇研究员对标委会2009年度工作及2010年工作计划做了详细介绍。

射频微机电系统技术现状

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。

基于微机电系统技术的微推进器发展简析

1发展需求 随着微小卫星技术的发展和应用领域的不断扩大，对微推进系统提出了越来越迫切的需求。由于微小卫星具有体积小、质量轻、转动惯量小等特点，为精确实现其轨道调整、引力补偿、位置保持、轨道机动和姿态控制等操作，必须开发出具有高集成度、低功耗、小推力和微冲量等特点的微推进器。

用微机电系统技术制微型PEMFC及其性能研究

采用氧化、光刻、KOH湿法腐蚀和溅射等一系列微机电系统(MEMS)工艺,在n型单晶硅片衬底上制作微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)的精细流场,并用扫描电子显微镜(SEM)观察所形成的流场微观形貌。将加工好的流场板分别与不同的膜电极组件(MEA)叠片式组装成H2-空气自呼吸式mPEMFC。所制成的单体电池的体积约为0.3cm3,质量不足0.65g。在20℃,相对湿度RH为(60±5)%的室内环境下,用三种不同MEA即Nafion112、Nafion1135自制热压MEA和GorePrimeaR5561MEA组装成的电池,其峰值比功率、体积比功率和质量比功率分别为123、112、58mW·cm-2,410、373、193W·L-1,189.2、172.9、89.2W·kg-1。通过比较上述三种不同mPEMFC的性能,分析了影响电池性能的若干因素。用Nafion1135MEA组装的mPEMFC以50mA·cm-2进行累计260h长时间放电实验,电池电压保持在0.6V以上。

基于微机电技术的微型推进器

基于微机电（MEMS）技术的微型推进器具有体积小、推力控制精度高等特点，可以用于小型航天器的姿态控制和轨道机动。

可使微机电技术走向量产的新工作平台问世

微电子机械系统,光电仪器和整合半导体相关仪器生产蚀刻系统的厂商Surface Technology Systems(简称STS),今天揭示了新的蚀刻和沉积领域工具Pro Family,其可使微机电技术加速走向量产阶段。整个设计使得微机电的制造从技术导向进而转为生产效率的考量,而提高了生产效率,并以降低每一个晶圆的制程成本来走向量产化。新的Pro工作平台能和STS原有的Advanced Silicon Etch(ASE)技术兼容,该ASE技术能展现非等向性的(anisotropic)深硅蚀刻要求。

应用微机电技术的惯性测量组件用于微型弹药

到今天，制导炮弹已经出现了二十余年，但由于炮弹的制导部件仍然较为昂贵和娇气，限制了制导炮弹更普遍的使用。特别是现有制导炮弹基本上仍是大口径炮弹。中口径炮弹的制导化还受到制导部件小型化的瓶颈制约。在制导部件中，惯性测量组件不论在成本、体积还是重量上都占有较大比重，因而它的小型化将带来可观的收益。微机电技术的日益成熟，使惯性测量组件的微型华成为可能。

源于IC、超越IC 微机电技术迈向标准化

被公认为新世纪最有潜力的制造技术之一的MEMS,结合了硅加工制程、X光深刻精密电铸模造成形和精密机械加工等多种微加工技术,可生产出微传感器、微致动器、微系统等组件装置。

微机电系统技术及其在卫星中的应用

一、微机电系统（MEMS）技术概述 MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现，也在航天技术领域中不断出现。微机电系统是微电子技术的拓宽和延伸。它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。具体来说，微机电系统是专指外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米量级（10^-6～10^-9m），可对声、光、热、磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置。它是正在飞速发展的微米和纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型传感器、微型执行器等微型装置和器件集成在硅片上，不仅能收集、处理与发送信息或指令，还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。

ADI发布3轴运动检测微机电系统技术

美国模拟器件公司（ADI）日前发布了3轴运动检测微机电系统（MEMS）技术。